0.18umsigebicmos工藝與器件的若干研究

1、復(fù)旦大學(xué)碩士學(xué)位論文0.18umSiGeBiCMOS工藝與器件的若干研究姓名：王灼平申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：集成電路工程指導(dǎo)教師：阮剛20091001A b s t r a c tA f t e r 1 9 8 0 s ，S i l i c o n B i p o l a r T e c h n o l o g i e s b e c a m e m a t u r e a n dd e v i c e c u t o f f f r

2、e q u e n c y f T ( H z ) r e a c h e d 3 0 G H z ，E C L g a t e d e l a yd e c r e a s e dt o 2 0 t o3 0 p s ．I nt h e l a t e 1 9 9 0 s ，S i G eB i C M O S ( H B T + C M O S )t e c h n o l o g ye m e r g e df r o mr e

3、s e a r c h l a ba n d s p r e a dr a p l d l Yi n t om a s s l’ 。一 一 一‘一。 ●‘一一p r o d u c t i o na s t h em a i n —s t r e a ml 訊B i C M O St e c h n o l o g y ．T h ew o r ki n c l u d e d i n t h i St h e s i sa r ed i

4、 v i d e di n t of o u ra s p e c t s ：1 ． I n t h e s e c o n d c h a p t e r ，t h e o r e t ic a l a n a l y s is o n s e m i c o n d u c t o rd e v i c ep h y s i c s ，t w o k i n d so fc u r c u i t m e c h a n i s m

5、 s ，P N j u c t i o nb a n dd i a g r a m ，a n d S i B J T b a s is a r e d e s c r i b e d ． S i G e H B T t r a n s i s t o re l e c t r i c a l p e r f o r m a n c e i m p r o v e m e n t f r o m S i B J T d u e t o b

6、 a n d g a pn a r r o w i n g i sa l s oe x p l a i n e d ．0 n t h eo t h e r h a n d ，M O Sd e v i c e o p e r a t i o nm e c h a n i s m i s d i s c u s s e d i n t h e l a t e r p a r t o f c h a p t e r 2 w i t hm a

7、t h m a t i c a l c a l c u l a t i o no ft h r e s h o l dv o l t a g ea n dc i r c u i t —- v o l t a g ec h a r a c t e r i s t i c s ．2 ．H i g h f r e q u e n c y d e v i c e a p p l i c a t i o n m a r k e t i s a n

8、 a l y s i z e d i nc h a p t e r 3 ，t h ea p p l i c a t i o ns p l i t s i n t os e v e r a l p a r t s ， W L A N ，R F I D ，G S M a n d W C D M A ．S i G eH B T d e v i c ea p p l i c a t i o ni sf i r s t l y a n a l y

9、 s i z e da n di t s p e r f o r m a n c ea d v a n t a g e so v e rC M O S i s a l s o a d r e s s e d ．3 ．C h a p t e r 4 a n d C h a p t e r 5 f o c u s o n t h e S i —o n l y B i C M O S p r o c e s sd e v e l o p m

10、e n t ．P r o c e s s f l o w w a s b u i l t u p b a s e do n e x i s t i n g 0 ．1 8 u r nC M O S ( N M O S + P M O S ) t e c h n o l o g y ．A f t e r d e v i c e l a y o u t d e s i g n ，d e v i c es i m u l a t i o na

11、n d o p t i m i z a t i o n ，S iB J T w a sf a b r i c a t e di nG S M Cf a b ，i t sD C c h a r a c t e r i s t i c s w e r e t e s t e d ，a n d r e s u l t s w e r e f e e d b a c k e d t op r o c e s s e n g i n e e r

12、i n gf o rf u r t h e ro p t i m i z a t i o n ．4 ．C h a p t e r 6 a n d C h a p t e r 7 d e a l w i t h n e w S i G e B i C M O S t e c h n o l o g yd e v e l o p m e n tb a s e do n 0 ．1 8 u mS i —o n l yB i C M O St e