0.35微米bicmos光刻工藝參數(shù)的優(yōu)化

1、天津大學(xué)碩士學(xué)位論文0.35微米BiCMOS光刻工藝參數(shù)的優(yōu)化姓名：白蘭萍申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：電子與通信工程指導(dǎo)教師：張為;程高龍20081101天津大學(xué)碩士學(xué)位論文A B S T R A C TT h e i m p r o v e m e n ta n d o p t i m i z a t i o no f t h ep h o t o l i t h o g r a p h y p r o c e s sf o ra t y

2、 p i c a lC M O S p r o d u c tw a s d i s c u s s e d ．F o r t h i sp r o d u c t ，t h r e em a i np r o b l e m s w e r ea n a l y z e di n d e t a i l a n dg o tt h es o l u t i o nf m a l l y ．T h i sp r o d u c ta l

3、 s o h a sb e e ni m p l e m e n t m a s sp r o d u c t i o n s u c c e s s f u l l y ．T h e f o l l o w i n g w i l ll i s tt h e t h r e ep r o b l e m s ：1 ．L e n s h e a t i n gi s s u e o np h o t o p r o c e s sT h

4、 i sp r o d u c th a s s e v e r a ll a y e r si nf r o n te n d w i t hh i } g hm a s k t r a n s m i s s i o nr a t ea n dh i g he x p o s u r ed o s e ，t h u sc a n e a s i l yc a u s e l e n s —h e a t i n gi s s u e

5、o nI L i n es c a n n e r t 0 0 1 ．T h i sw i l ll e a dt ol e n sd i s t o r t i o na n d f o c u sd r i f t ．T h i sp r o b l e m w i l lb e d i s c u s s e da n ds o l v e d i nt h i sp a p e r ．2 ．T h e b a l lt y p

6、ed e f e c ti s s u ec a u s e d b yp h o t o r e s i s t p o w d e rI nt h ep r o c e s s o f t h i sp r o d u c t ，s o m el a y e r sn e e d c o a tt h i n n e r t h i c k n e s s ．T og e t t h et h i n n e rt h i c k

7、n e s s ，w en e e da d j u s tc o a tm a i nR P M v e r yh i g h ．H o w e v e r ，h i g h - s p e e dr o t a t i o nm a k e s t h er e s i s tm i s ta n d f l o a t i n go nc o a t e ru n i t ，t h e nt h ee x h a u s t b

8、l o w t h ep o w d e r o u ta n d f a l li n t ot h e n e x tw a f e r ．T h e r e f o r e ，t h e w a f e r o na r m s w i l ls u f f e rb a l lt y p ed e f e c t ．T h em e t h o do fc o n t r o lh i g hR P M w i l lb ef

9、o u n do u ta n dh a n d l et h i sd e f e c ti nt h i sp a p e r ．3 ．U s eT A R Ct o r e m o v et h e r e s i d u ed e f e c tw h i c hi s p r o d u c e d i n d e v e l o p m e n tp r o c e s sT h e d e f e c td u r i n

10、 g t h ed e v e l o p m e n t p r o c e s si st h e m a i nf a c t o rw h i c h l e a d s t oy i e l dl o s s ．S u c ha s av a r i e t yo fg e n e r a t i o nm e c h a n i s ma n dd i f f e r e n tc h a r a c t e r i s t

11、 i c so fp h o t o r e s i s t r e s i d u ed e f e c t i sa m a j o r p r o b l e m w h i c h p l a g u e s l i t h o g r a p h ys e c t o r ．T h i sh a s a c l a s so f r e s i d u e sf r o m t h ee n h a n c e m e n t

12、 o f t h e p r o d u c t r e a c t i o np r o c e s s r e s i d u e ．T h e R e s i d u ei s n ’t e a s yt ob e m o v e d b yr i n s ep r o c e s s ．T h e r e f o r e ，t h er e s i d u e so n t h ew a f e r s u r f a c e

13、C a nl e a dt op a a e r n f a i l ．T h es l a s h d e f e c tt h a ti so c c u r r e do nD U V t o o li sa t y p i c a l o n e ．I nt h i sp a p e r , s l a s h d e f e c t sa s a n e x a m p l e ，t os t u d y i t sp r i