TFt-LCD的Mura缺陷檢測技術(shù)研究.pdf

1、薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)在技術(shù)和生產(chǎn)方面發(fā)展迅速，正逐漸往輕薄化、大尺寸化、高分辨率化發(fā)展。在大尺寸和大規(guī)模生產(chǎn)的同時(shí)，LCD面板出現(xiàn)各類缺陷的幾率也大大增加，不僅限制了產(chǎn)量，還提高了成本。
　　針對TFT-LCD面板上Mura缺陷對比度低、邊緣模糊、形狀不規(guī)則的特點(diǎn)，在對大量檢測方法的嘗試后，論文重點(diǎn)研究并設(shè)計(jì)了一種在背景亮度不均勻條件下的TFT-LCD Mura缺陷檢測技術(shù)。根據(jù)實(shí)際的檢測需要，確立了高斯濾波去噪

2、聲、雙三次B樣條曲面擬合去除背景、最大類間方差(Otsu)的雙γ分段指數(shù)變換對比度增強(qiáng)、Otsu法閾值分割缺陷和SEMU標(biāo)準(zhǔn)量化評價(jià)的檢測流程，對檢測過程中各階段關(guān)鍵技術(shù)進(jìn)行了分析和推導(dǎo)，并用Matlab軟件編譯實(shí)現(xiàn)。主要對以下幾點(diǎn)進(jìn)行了研究:
　　(1)首先分析總結(jié)了Mura的定義、產(chǎn)生的原因和分類，然后歸納了圖像噪聲的來源和常用的四種去噪方法。
　　(2)在曲面擬合去除背景部分，先總結(jié)了二元三次多項(xiàng)式曲面擬合和雙三次B樣

3、條曲面擬合的理論知識，采用乘積型方程反算雙三次B樣條曲面并對擬合數(shù)據(jù)進(jìn)行壓縮以提高算法的速度和計(jì)算效率;針對傳統(tǒng)的雙三次B樣條擬合精度過高的問題，引入光順項(xiàng)對擬合曲面進(jìn)行光順平滑，以減小Mura區(qū)域點(diǎn)對擬合曲面局部形狀的干擾。
　　(3)介紹了兩種已有的對比度增強(qiáng)方法并分析其缺點(diǎn)，從而提出一種新的增強(qiáng)方法:通過引入Otsu法自動選取閾值作為分段函數(shù)的分段點(diǎn);引入γ指數(shù)變換，對背景和目標(biāo)區(qū)域分別做不同的γ變換。所提方法能實(shí)現(xiàn)增強(qiáng)目標(biāo)

4、區(qū)域?qū)Ρ榷炔⒁种票尘皡^(qū)域灰度值變化，同時(shí)增強(qiáng)了Mura缺陷的邊緣。再采用Otsu法閾值分割將圖像二值化，并提取缺陷面積等相關(guān)參數(shù)。
　　(4)引入SEMU標(biāo)準(zhǔn)，將前幾階段中提取的相關(guān)參數(shù)帶入公式，求得用于評級的Semu值，以判定算法的準(zhǔn)確性。將對比度增強(qiáng)和缺陷分割結(jié)合起來用以展示各算法的效果，證明了所提算法的實(shí)用性和高效性。通過Mura缺陷檢測實(shí)驗(yàn)，總結(jié)歸納出檢測算法流程。實(shí)驗(yàn)表明，本文所提檢測算法對各類常見的Mura缺陷均能有效