克酮酸薄膜的物理氣相制備與表征.pdf

1、有機(jī)鐵電材料具有質(zhì)量輕、可低溫制備薄膜、成本低等優(yōu)點(diǎn)，在柔性器件的制備上有著非常大的運(yùn)用價(jià)值，研究和開(kāi)發(fā)新的有機(jī)鐵電材料一直是科研工作者的不懈追求。其中近年來(lái)國(guó)內(nèi)外研究得最熱的一種新型鐵電高分子材料是電聚合物偏氟乙烯三氟乙烯共聚物P(VDF-TRFE)，其鐵電薄膜具有自發(fā)極化較強(qiáng)，化學(xué)穩(wěn)定性良好，制備成本低廉，工藝簡(jiǎn)單等諸多優(yōu)點(diǎn)。本論文首先選取了DMF、EMK和DEC三種有機(jī)溶劑作為研究對(duì)象，配制P(VDF-TrFE)溶液，研究不同溶劑

2、、不同濃度、不同旋涂轉(zhuǎn)速、不同退火溫度的條件下制備的P(VDF-TrFE)有機(jī)鐵電薄膜的質(zhì)量差異及電學(xué)性能差異，研究結(jié)果表明其他實(shí)驗(yàn)參數(shù)相同的條件下，溶液濃度越大，薄膜質(zhì)量越差，薄膜厚度越大，薄膜質(zhì)量越差，大氣下退火，薄膜結(jié)晶成顆粒狀，氮?dú)庀峦嘶?，薄膜結(jié)晶成纖維狀，溶液濃度為40mg/ml時(shí)，薄膜鐵電性較好。
　　近年來(lái)，研究人員在多種有機(jī)小分子材料中發(fā)現(xiàn)存在著鐵電性，但利用溶液法很難制備薄膜，且易于在物理氣相沉積制膜過(guò)程中分解。

3、本論文主要研究了分子鐵電材料克酮酸基于物理氣相沉積法的薄膜和薄膜電容器器件的制備，并通過(guò)原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡、X射線衍射分析儀、傅里葉紅外光譜儀等手段研究了其薄膜形貌特性和微晶結(jié)構(gòu)，證實(shí)物理氣相沉積可得到未分解的克酮酸薄膜，發(fā)現(xiàn)薄膜粗糙度隨膜厚的增加而變大，而退火溫度對(duì)粗糙度的影響并不明顯，同時(shí)，薄膜中的克酮酸微晶存在擇優(yōu)取向。采用半導(dǎo)體參數(shù)分析儀對(duì)克酮酸薄膜電容器的電流-電壓（I-V)電學(xué)特性進(jìn)行表征，研究表明克酮酸薄膜呈現(xiàn)出