紅外探測器用高性能鈦酸鍶鋇薄膜的制備與表征.pdf

1、本論文是圍繞(Ba,Sr)TiO3材料在紅外探測領(lǐng)域的應(yīng)用需求而開展的一些基礎(chǔ)研究。本論文主要研究了： 高質(zhì)量外延薄膜的制備技術(shù)利用紫外脈沖激光沉積(PLD)法制備了高質(zhì)量異質(zhì)外延薄膜，研究了PLD技術(shù)中薄膜的疇外延生長機(jī)制，獲得BST外延薄膜制備的工藝路線。 BST薄膜的電阻溫度效應(yīng)利用叉指電極研究了BST薄膜的電阻溫度效應(yīng)，探討了BST材料的電阻溫度效應(yīng)的來源與機(jī)理。通過BST薄膜的電阻溫度曲線得到了BST薄膜內(nèi)部淺

2、能級(jí)的熱激發(fā)對(duì)電阻溫度效應(yīng)的貢獻(xiàn)，得到了薄膜內(nèi)部缺陷能級(jí)的激活能隨外加電壓的變化關(guān)系和不同偏壓下BST薄膜在不同溫度的電阻溫度系數(shù)。 BST薄膜的導(dǎo)電機(jī)理考慮介電常數(shù)的電場依賴特性，分析了BST薄膜的電荷導(dǎo)電機(jī)理；建立了電壓非線性介電材料的空間電荷導(dǎo)電模型，并利用該模型分析了BST薄膜內(nèi)部的缺陷態(tài)密度和分布。 BST薄膜的內(nèi)部缺陷及其性質(zhì) BST薄膜內(nèi)部缺陷態(tài)主要是由氧空位。利用電荷放電瞬態(tài)譜、紫外透射光譜、光致發(fā)光譜研