三維多孔二氧化錫泡沫材料的制備及其氣敏特性研究.pdf_第1頁(yè)
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1、SnO2作為一種較理想的氣敏材料被廣泛應(yīng)用于氣體傳感器中。為了提高材料的氣敏性能，通?？赏ㄟ^(guò)摻雜、改變形貌來(lái)改善材料的氣敏性能，三維多孔的結(jié)構(gòu)可增加氣敏材料表面吸附（反應(yīng)）的空間，即可增強(qiáng)氣敏材料的吸附能力，有利于提升材料的氣敏性能。
　　本文主要研究了硅基SnO2泡沫材料的制備工藝及其對(duì)乙醇的氣敏性能。首先在Si/SiO2襯底上通過(guò)電子束蒸發(fā)法蒸鍍Sn薄膜，采用熱氧化法制備SnO2薄膜作為過(guò)渡層，以增強(qiáng)薄膜之間的附著性。接著采用

2、磁控濺射法在Si/SiO2/SnO2上沉積的Sn薄膜，在酸性電解液中通過(guò)電化學(xué)沉積法在Si/SiO2/SnO2/Sn上沉積泡沫Sn。最后通過(guò)熱氧化法將泡沫Sn氧化為SnO2泡沫材料。
　　論文通過(guò)蒸鍍鋁叉指電極的方法分別制備了三維多孔SnO2泡沫材料氣敏元件以及作為過(guò)渡層的納米SnO2的氣敏元件，測(cè)試了兩種材料對(duì)乙醇的氣敏性能。經(jīng)測(cè)試，工作溫度為300℃時(shí)，泡沫SnO2材料對(duì)300ppm乙醇的靈敏度為37，而納米SnO2材料僅為1

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