封裝膠的不均勻性對(duì)微加速度計(jì)零位溫漂的影響研究.pdf

1、電容式微加速度計(jì)具有檢測(cè)靈敏、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、易于集成等顯著優(yōu)點(diǎn)，在各種傳感器中電容式微加速度計(jì)發(fā)展最快而且商業(yè)應(yīng)用最廣。工作溫度的變化導(dǎo)致微加速度計(jì)的零位溫漂嚴(yán)重影響加速度計(jì)的檢測(cè)精度，制約其應(yīng)用于高端精密領(lǐng)域。
　　在施膠過(guò)程中，粘接膠的不均勻性及空洞等將不可避免的發(fā)生，工作溫度的變化導(dǎo)致微加速度計(jì)結(jié)構(gòu)產(chǎn)生非對(duì)稱性的熱應(yīng)力及熱變形，從而產(chǎn)生零位輸出和零位溫漂。隨著對(duì)檢測(cè)精度要求越來(lái)越高，粘接膠的不均勻性對(duì)微加速度計(jì)零位溫漂的影響不能

2、忽略。國(guó)內(nèi)外對(duì)粘接膠不均勻性對(duì)微加速度計(jì)零位溫漂的研究非常少，因此研究粘接膠的不均勻性對(duì)微加速度計(jì)的影響具有重要的工程意義。本文主要內(nèi)容為：
　　1．簡(jiǎn)化電容式微加速度計(jì)為三層結(jié)構(gòu)，通過(guò)理論推導(dǎo)了中間層均勻三層結(jié)構(gòu)玻璃上表面的軸向位移變形，以及中間層不均勻三層結(jié)構(gòu)粘接層與玻璃接觸處的軸向位移和切應(yīng)力，并與有限元仿真分析進(jìn)行對(duì)比。通過(guò)仿真分析粘接膠不均勻?qū)ξ⒓铀俣扔?jì)零位溫漂的影響，零位溫漂并不是隨著粘接膠傾斜角度變化呈線性變化。另外

3、還分析在粘接膠不均勻性下折疊梁不對(duì)稱對(duì)微加速度計(jì)零位溫漂的影響，此時(shí)折疊梁不對(duì)稱性對(duì)微加速度計(jì)零位溫漂的影響顯著。
　　2．分析粘接膠不均勻性下粘接膠中空洞位置分布及空洞大小對(duì)微加速度計(jì)零位輸出的影響，空洞在不同位置對(duì)微加速度計(jì)零位輸出不同；當(dāng)空洞位于粘接膠左右兩側(cè)對(duì)稱分布時(shí)，左右兩側(cè)的零位輸出規(guī)律相同，但空洞位于粘接膠厚度較小一側(cè)零位輸出數(shù)值越大；空洞大小的變化對(duì)微加速度計(jì)零位輸出影響比較復(fù)雜，空洞位于支撐折疊梁的錨點(diǎn)相對(duì)應(yīng)粘接