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文檔簡介
1、利用真空蒸發(fā)方法制備了ZnTe納米多晶薄膜,并采用雙源法對薄膜進(jìn)行了稀土元素Dy、Pr的摻雜。在自動控溫?cái)U(kuò)散爐中有N2保護(hù)的情況下,分別在300℃、400℃、500℃下對薄膜進(jìn)行熱處理,時間為10min,并采用X射線衍射儀、原子力顯微鏡對薄膜的物相結(jié)構(gòu)、表面形貌進(jìn)行了測試,用紫外可見分光光度計(jì)對薄膜的光學(xué)特性進(jìn)行了測試,用冷熱探針、薄膜測厚儀、四探針電阻率測試儀對薄膜導(dǎo)電類型、厚度、折射率和電阻進(jìn)行了測試。分析元素配比、熱處理溫度、摻雜
2、濃度、工藝條件對薄膜物相結(jié)構(gòu)、光學(xué)特性等性質(zhì)的影響。通過分析測試結(jié)果調(diào)整并優(yōu)化薄膜的組分、工藝條件和摻雜濃度。
實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:高純單質(zhì)鋅與碲按照原子配比Zn:Te=1:0.7混合蒸發(fā),在氮?dú)獗Wo(hù)下,經(jīng)過T=500℃,時間10min的熱處理,可獲得完全為ZnTe物相的比較理想多晶薄膜。在Zn:Te=1:0.7的基礎(chǔ)上對薄膜進(jìn)行了稀土元素Dy、Pr的摻雜。摻雜并沒有改變ZnTe的物相結(jié)構(gòu),仍為立方晶系閃鋅礦結(jié)構(gòu)。但對ZnTe薄
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