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1、超短激光脈沖在一定的氣體氛圍下作用于硅表面時(shí),照射過(guò)的區(qū)域人眼看起來(lái)為黑色,而其微觀表面為微米量級(jí)的尖峰結(jié)構(gòu),俗稱“黑硅”。該種材料具有奇特的光學(xué)性質(zhì),如:對(duì)近紫外至中紅外的光都具有超過(guò)80%的吸收等,在光通訊、遙感、光電探測(cè)及微電子設(shè)備等領(lǐng)域都具有重要潛在應(yīng)用價(jià)值。本文對(duì)制備該種材料的表面微結(jié)構(gòu)的控制及材料熱擴(kuò)散性質(zhì)進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究。 研究了在一定氣壓的SF6、N2、Air、Vacuum氣體環(huán)境下不同激光參數(shù)(激光通量、脈沖數(shù)、
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