不同磷含量和微結(jié)構(gòu)的n型a-Si-H薄膜光、電學(xué)性能的研究.pdf

1、目前，全球的能源危機(jī)推動(dòng)著各國對(duì)新能源的探索和研究，其中包括：風(fēng)能、水能、核能等，太陽能由于具有清潔性和可再生性而備受矚目。當(dāng)前轉(zhuǎn)換效率最高的是單晶硅電池，但由于單位產(chǎn)能成本高而無法推廣應(yīng)用，而非晶硅對(duì)材料消耗少，耗能低，可大而積生產(chǎn)，能量返回周期短等優(yōu)點(diǎn)彌補(bǔ)了單晶硅的缺憾，因此，本文的研究將圍繞非晶硅太陽能電池的n層在不同PH3/SiH4氣流量比下的光、電學(xué)及微結(jié)構(gòu)的變化規(guī)律。
　　 本文采用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECV

2、D)法分別在載玻片和硅片上制備了一組具有不同磷摻雜量的n型a-Si：H薄膜并對(duì)部分樣品進(jìn)行了退火處理，通過AFM、Raman光譜儀、Hall效應(yīng)儀、UV分光光度計(jì)及SIMS等分析手段，研究了不同磷含量和原子排列有序度對(duì)n型a-Si：H薄膜的微觀結(jié)構(gòu)、光學(xué)/電學(xué)性能的影響并對(duì)其原因進(jìn)行了分析。本文取得的重要結(jié)論和創(chuàng)新性研究成果如下：
　　 1)利用霍爾效應(yīng)儀對(duì)載流子濃度、載流子遷移率、電阻率進(jìn)行了檢測分析，結(jié)果表明：當(dāng)PH3/Si

3、H4氣流量比從0.5％增加到2.5％，n型a-Si：H薄膜的電阻率整體呈下降趨勢；其中在PH3/SiH4氣流量比從1.0％增加到1.5％時(shí)，電阻率從1.35×105ohm*cm降低到3.66×104ohm*cm，降低幅度近兩倍，其后電阻率緩慢下降，趨于穩(wěn)定；
　　 2)通過紫外-可見光分光光度計(jì)測得：在五種PH3/SiH4氣流量比條件下制備的N型a-Si：H薄膜，其透過率在波段為600nm時(shí)均在65％以上、在600nm-900n

4、m波段范圍內(nèi)透過率均大于40％，n型a-Si：H薄膜的透過率整體較好。隨著PH3/SiH4氣流量比的升高，薄膜的透過率逐漸增大。經(jīng)tauc法計(jì)算得出：隨著PH3/SiH4氣流量比的升高也即磷元素?fù)诫s濃度的增加，n型a-Si：H薄膜的光學(xué)帶隙逐漸變??；
　　 3)盡管拉曼檢測結(jié)果顯示出本文沉秋的n型a-Si：H薄膜均為非晶態(tài)結(jié)構(gòu)，但其非晶網(wǎng)絡(luò)的短程和中程有序度隨著PH3/SiH4氣流量比的升高是逐步提高的；
　　 4)采用

5、二次離子質(zhì)譜(SIMS)分析了磷元素在薄膜中的縱向摻雜濃度，當(dāng)PH3/SiH4氣流量比為1.5％時(shí)，從膜表而到薄膜內(nèi)部，磷原子的有效摻雜濃度在1.15×1021atoms/cm3到1.17×1021atoms/cm3之間，磷原子分布均勻；而PH3/SiH4氣流量比為2.5％時(shí)，磷原子的有效摻雜濃度在1.58×1021atoms/cm3到3.34×1020atoms/cm3，雖然在同一個(gè)數(shù)量級(jí)上，但從表而到內(nèi)部逐漸降低，表現(xiàn)出不均勻性；<