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1、鄭州大學(xué)碩士學(xué)位論文氧化銀薄膜的制備和相關(guān)性質(zhì)研究姓名:張增院申請學(xué)位級別:碩士專業(yè):凝聚態(tài)物理指導(dǎo)教師:郜小勇201105AbstractAbstractInrencentyears,silveroxide(AgxO)filmshavereceivedmoreandmoreattentionduetotheirpotentialapplicationinopticalandmagneto—opticstoragebyusingthei
2、rthemaldecompositioneffectNowadays,thehighthresholdoftheirthermaldecompositionthemperatures(TTDT)hasbeenabottleneckfortheindustrializationinthefutureHencetheresearchisfocusedontheTTDTloweringbythepreparationofsinglephase
3、dA920filmInthisthesis,theAgxOfilmsweredepositedbydirectcurrentmagnetronsputteringusingdifferentreactivepressures(RP)andsputteringpowers(SP)onthepurposeofobtainingtheoptimalconditionofsingle—phasedA920filmMoreoverthefilms
4、thermaldecompositionandTrDTvaluewasstudiedbyusingtraditionalchamberthermaltreatmentundervacuumcondtionTheeffectsofthedepositionparameterandthermaltreatmenttemperatureWasintensivelystudiedonthestructure,surfacemorphologya
5、ndopticalpropertiesoftheAgxOandsingle—phasedAgaOfilmsbyusingscanningelectronmicroscopyX—raydiffractometryandspectrophotometryThemainresultsarelistedasfollows:(1)ThephasestructureoftheAgxOfilmsapparentlyevolvesfrombiphase
6、d(AgOA920)tosingle—phased(A920),andtobiphased(A920AgO)structurewithincreasingtheRPandSPvalues,respectivelyParticularlythesingle—phasedA920filmweredepositedatRP=25PaandSP=105w,respectivelywhicheffectivelyloweredthe丁rDTofA
7、gxOfilmThecreativeresultprentsadirectiontodealwiththeapplictionprobleminopticalandmagnetoopticaldisksThechangeoftheopticalpropertieswithincreasingtheRPandSPvaluesmaybeattributedtothefilm’Sstructuralevolutionandtotheincre
8、asingfilmthickness(2)TheopticalbandgapoftheA&ofilmsdecreasesfrom31百Vto273eVwithincreasingthesPindicatingthattheAgxOfilmisadirectbandgapsemiconductorTheopticalbandgapofthesinglephasedA920filmsdepositedatSP=105Wisabout286“
9、(3)TIleevolutionoftheA920film’Ssurfacemorphologyfromdensetoloosesurfaceoccurredafterthethermaltreatmentundervacuumcondition,whichiSattributedtothethermaldecompositionreactionofA920andthediffusionandescapefromfilmsurfaceo
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