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文檔簡介
1、隨著紅外光通信技術(shù)的發(fā)展，光學薄膜在提升光學器件性能方面扮演著越來越重的作用。本文主要研制以藍寶石為基底，實現(xiàn)在1.064μm和3～5μm透射、1.2～2.8μm反射的紅外濾光膜。同時對薄膜材料的光學性能進行研究和分析，根據(jù)薄膜設(shè)計理論，借助TFC膜系軟件進行膜系設(shè)計。通過對初始膜系膜層厚度的優(yōu)化，獲得了較為理想的膜系結(jié)構(gòu)設(shè)計方案。
本課題采用電子束真空蒸發(fā)和離子輔助沉積技術(shù)制備薄膜。對在鍍膜過程中影響膜層性能的工藝因素進行了
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