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文檔簡介
1、隨著CMOS集成電路技術(shù)與MEMS技術(shù)的飛速發(fā)展,將傳感器與信號處理電路單片集成成為一大發(fā)展趨勢。而其中的模數(shù)轉(zhuǎn)換器是模擬到數(shù)字的接口,是單片集成電路中的核心模塊,模數(shù)轉(zhuǎn)換器需要有著低功耗,小面積的特點以適用于高集成度的單片集成電路。
本研究設(shè)計了適用于單片集成砷化銦(InAs)傳感器電路的一種10位全差分式的逐次逼近模數(shù)轉(zhuǎn)換器(SAR ADC)。該模數(shù)轉(zhuǎn)換器由數(shù)模轉(zhuǎn)換器(DAC)、比較器、逐次逼近寄存器、控制邏輯電路等構(gòu)成。
2、其中DAC在“Vcm-based”切換法的基礎(chǔ)上做出改進,省去了DAC陣列中的最高位電容,采用了6MSB+3LSB分段式電荷按比例縮放型結(jié)構(gòu),有效減小整體面積,提高ADC精度。在版圖設(shè)計方面,電容陣列采用共質(zhì)心式對稱結(jié)構(gòu),提高電容之間的匹配性。電路采用CSMC0.5μm2P3M工藝設(shè)計,在100KS/s采樣率與0.49KHz輸入信號頻率下,ADC的無雜散動態(tài)范圍SFDR為67.8dB,有效位數(shù)為9.53bit,整個ADC面積為700μm
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