簡介：隨著超大規(guī)模集成電路的發(fā)展集成電路的集成度已達(dá)到10的量級而失效率則已降到10FET從而對微電路生產(chǎn)的工藝質(zhì)量和可靠性評價(jià)技術(shù)提出了新的要求采用先進(jìn)的質(zhì)量保證和評價(jià)技術(shù)應(yīng)用在中國的微電路生產(chǎn)中顯得尤為緊迫該文針對微電路生產(chǎn)的實(shí)際特點(diǎn)在微電路生產(chǎn)工藝質(zhì)量控制的SPC系統(tǒng)中引入了多變量控制圖技術(shù)解決了微電路生產(chǎn)中的多變量受控分析問題通過繪制多變量控制圖和分解多變量統(tǒng)計(jì)量能判斷過程是否受控并在出現(xiàn)失控時(shí)解釋失控原因?qū)ε袛喙に囘^程的微小偏移引入了EWMA控制圖它也能預(yù)測工藝過程的未來趨勢以便生產(chǎn)中進(jìn)行工藝調(diào)整對工藝不合格品率已達(dá)到PPM水平下的工序能力提出了等效工序能力指數(shù)的概念和計(jì)算方法上述技術(shù)和方法已用于南京五十五所GAAS器件生產(chǎn)線的工藝質(zhì)量控制和可靠性評價(jià)中

簡介：分類號密級UDC學(xué)位論文濺射法濺射法制備制備NIZN鐵氧體薄膜鐵氧體薄膜工藝工藝技術(shù)研究技術(shù)研究題名和副題名趙曉寧趙曉寧作者姓名指導(dǎo)教師姓名蘭中文蘭中文教授教授電子科技大學(xué)電子科技大學(xué)成都成都職務(wù)、職稱、學(xué)位、單位名稱及地址申請學(xué)位級別碩士碩士專業(yè)名稱材料學(xué)材料學(xué)論文提交日期20093論文答辯日期20095學(xué)位授予單位和日期電子科技大學(xué)電子科技大學(xué)答辯委員會主席教授教授評閱人2008年月日注1注明國際十進(jìn)分類法UDC的類號獨(dú)創(chuàng)性聲明本人聲明所呈交的學(xué)位論文是本人在導(dǎo)師指導(dǎo)下進(jìn)行的研究工作及取得的研究成果。據(jù)我所知，除了文中特別加以標(biāo)注和致謝的地方外，論文中不包含其他人已經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果，也不包含為獲得電子科技大學(xué)或其它教育機(jī)構(gòu)的學(xué)位或證書而使用過的材料。與我一同工作的同志對本研究所做的任何貢獻(xiàn)均已在論文中作了明確的說明并表示謝意。簽名日期年月日關(guān)于論文使用授權(quán)的說明本學(xué)位論文作者完全了解電子科技大學(xué)有關(guān)保留、使用學(xué)位論文的規(guī)定，有權(quán)保留并向國家有關(guān)部門或機(jī)構(gòu)送交論文的復(fù)印件和磁盤，允許論文被查閱和借閱。本人授權(quán)電子科技大學(xué)可以將學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫進(jìn)行檢索，可以采用影印、縮印或掃描等復(fù)制手段保存、匯編學(xué)位論文。保密的學(xué)位論文在解密后應(yīng)遵守此規(guī)定簽名導(dǎo)師簽名日期年月日

簡介：點(diǎn)擊查看更多抗輻射加固SOI CMOS工藝技術(shù)及器件研究.pdf精彩內(nèi)容。

簡介：隨著網(wǎng)絡(luò)化技術(shù)的飛速發(fā)展以及制造企業(yè)的管理以及技術(shù)水平的提高企業(yè)對CAPP提出了更高的要求現(xiàn)在國際上CAPP朝著網(wǎng)絡(luò)化、集成化、智能化的趨勢發(fā)展敏捷制造、并行工程等研究方向正是研究熱點(diǎn)該篇論文以863項(xiàng)目為研究背景討論了網(wǎng)絡(luò)化、集成化的工藝規(guī)劃系統(tǒng)的體系結(jié)構(gòu)以及實(shí)現(xiàn)的關(guān)鍵技術(shù)研究的主要內(nèi)容包括1通過對現(xiàn)有CAPP系統(tǒng)的應(yīng)用情況以及企業(yè)網(wǎng)絡(luò)化狀況的分析對于基于知識的網(wǎng)絡(luò)化工藝規(guī)劃系統(tǒng)的功能和體系結(jié)構(gòu)作了詳細(xì)的介紹2研究了零件信息建模的方法在對現(xiàn)行的零件信息建模方法進(jìn)行比較結(jié)合項(xiàng)目的實(shí)際情況在現(xiàn)有理論的基礎(chǔ)上提出了比較實(shí)用的零件信息建模方法3提出基于動態(tài)資源配置的多企業(yè)間的產(chǎn)品工藝分工的解決方案研究了基于知識的零件邏輯加工路線的設(shè)計(jì)邏輯制造單元和物理制造單元的映射方式這為將來解決更為復(fù)雜的工藝問題提供了思路上參考4研究在INTER環(huán)境下如何在企業(yè)內(nèi)部實(shí)現(xiàn)各個(gè)單元技術(shù)之間的信息集成介紹了應(yīng)用XML進(jìn)行信息集成的實(shí)現(xiàn)機(jī)理

簡介：點(diǎn)擊查看更多應(yīng)用膜技術(shù)優(yōu)化鏈霉素提煉生產(chǎn)工藝.pdf精彩內(nèi)容。

簡介：論文在分析聚合物熔體在流動和傳熱過程中流變行為以及熱塑性塑料注塑成型數(shù)值仿真理論的基礎(chǔ)上，結(jié)合目前注塑成型工藝的研究現(xiàn)狀和研究方法，詳細(xì)闡述了成型工藝控制的幾種方法。借鑒這些成功的實(shí)例，文中將智能優(yōu)化技術(shù)引入成型工藝優(yōu)化中，在正交試驗(yàn)和數(shù)值仿真獲得的樣本數(shù)據(jù)的基礎(chǔ)上，采用神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)、遺傳算法和模糊綜合評價(jià)相結(jié)合，提出混合智能優(yōu)化的思想和模型。以一深腔殼型零件為研究對象，通過實(shí)例的研究，驗(yàn)證了該方法的有效性。本文研究內(nèi)容主要包括1、深入探討注塑成型流變理論和工藝對成型質(zhì)量的影響關(guān)系，并在目前注塑CAE軟件的基礎(chǔ)上研究了注塑成型仿真理論。進(jìn)而根據(jù)制品設(shè)計(jì)和使用要求，確定出制品的質(zhì)量指標(biāo)及相應(yīng)的工藝條件。2、按照試驗(yàn)設(shè)計(jì)方法的理論安排試驗(yàn)，用注塑成型的數(shù)值仿真技術(shù)獲得所有的試驗(yàn)數(shù)據(jù)。從試驗(yàn)數(shù)據(jù)的極差分析結(jié)果，定性地研究了試驗(yàn)范圍內(nèi)工藝對質(zhì)量指標(biāo)的影響關(guān)系。3、建立了用于預(yù)測制品質(zhì)量的BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)。以數(shù)值仿真和正交試驗(yàn)得到的數(shù)據(jù)為樣本數(shù)據(jù)，通過合理地設(shè)計(jì)網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)和選用學(xué)習(xí)算法，以及對網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)的優(yōu)化迭代，得到工藝變量對制品的各質(zhì)量指標(biāo)的非線性映射關(guān)系，為工藝的優(yōu)化提供了寶貴的數(shù)學(xué)模型。在此預(yù)測模型的基礎(chǔ)上，采納遺傳算法的自然進(jìn)化思想，以制品質(zhì)量模糊綜合評價(jià)函數(shù)為適應(yīng)度函數(shù)，以實(shí)驗(yàn)考察范圍內(nèi)的工藝參數(shù)為設(shè)計(jì)變量，利用BP網(wǎng)絡(luò)的近似計(jì)算實(shí)現(xiàn)了制品質(zhì)量的智能優(yōu)化。并與正交試驗(yàn)方法所得的結(jié)果作比較，驗(yàn)證了智能優(yōu)化方法具有快速、準(zhǔn)確和效果顯著等優(yōu)點(diǎn)。本文提出的混合智能優(yōu)化的思想不僅適用于注塑成型的工藝優(yōu)化，對其它多因素的，尤其是多指標(biāo)約束的、非線性和不確知系統(tǒng)的優(yōu)化問題也同樣適用，整個(gè)過程基本不需要人工干預(yù)、不需要先驗(yàn)的知識，特別對新產(chǎn)品的試制和快速投產(chǎn)能起到事半功倍的效果。

簡介：隨著中國加入WTO和經(jīng)濟(jì)的不斷發(fā)展企業(yè)為了生存和發(fā)展將不得不進(jìn)行技術(shù)改造實(shí)現(xiàn)以內(nèi)涵為主的擴(kuò)大再生產(chǎn)達(dá)到優(yōu)化品種、提高產(chǎn)品質(zhì)量、擴(kuò)大生產(chǎn)能力、降低生產(chǎn)成本、提高經(jīng)濟(jì)效益科學(xué)的項(xiàng)目管理保證了技術(shù)改造能夠按時(shí)、按質(zhì)、按量完成預(yù)期目的它不僅能夠有力地推動企業(yè)技術(shù)進(jìn)步而且能夠培養(yǎng)大量的人才是企業(yè)保持長期競爭優(yōu)勢、實(shí)現(xiàn)穩(wěn)步健康發(fā)展、不斷發(fā)掘更大價(jià)值的巨大推動力量該論文以AW煙廠工藝設(shè)備技術(shù)改造為研究對象探討在該項(xiàng)目的壽命周期中如何運(yùn)用現(xiàn)代項(xiàng)目管理的具體方法和工具實(shí)現(xiàn)該項(xiàng)目全過程的有效管理與控制論文中應(yīng)用了項(xiàng)目壽命周期理論對技術(shù)改造項(xiàng)目的壽命周期進(jìn)行分析應(yīng)用項(xiàng)目可行性研究方法對技術(shù)改造項(xiàng)目的啟動階段進(jìn)行分析應(yīng)用工作分解結(jié)構(gòu)WBS等技術(shù)對該項(xiàng)目規(guī)劃與設(shè)計(jì)階段進(jìn)行分析采用網(wǎng)絡(luò)分析和里程碑事件等方法進(jìn)行項(xiàng)目工期的優(yōu)化和項(xiàng)目進(jìn)度的管理應(yīng)用實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)對項(xiàng)目質(zhì)量進(jìn)行管理

簡介：點(diǎn)擊查看更多靖安油田低阻油氣層識別及高效開發(fā)工藝技術(shù)研究.pdf精彩內(nèi)容。

簡介：該文分析了沖壓工藝設(shè)計(jì)的過程及特點(diǎn)將基于知識的工程KNOWLEDGEBASEDENGINEERINGKBE作為一種設(shè)計(jì)方法引入到?jīng)_壓工藝設(shè)計(jì)過程中在回顧了決策支持系統(tǒng)發(fā)展的基礎(chǔ)上該文分析了決策支持系統(tǒng)的適用范圍并針對工程領(lǐng)域問題提出了工程決策支持的定義研究了沖壓工藝設(shè)計(jì)過程決策的主要內(nèi)容提出了基于知識的沖壓工藝設(shè)計(jì)決策系統(tǒng)的功能模型并設(shè)計(jì)了系統(tǒng)框架在分析了產(chǎn)品信息模型及特征建模的基礎(chǔ)上根據(jù)沖壓產(chǎn)品特征的分類提出了沖壓件的特征建模過程作為系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)的先導(dǎo)技術(shù)之后該文的焦點(diǎn)關(guān)注于基于事例的推理CASEBASEDREASONINGCBR在面向報(bào)價(jià)的成本分析中的應(yīng)用研究了CBR的原理與機(jī)制并分析了面向報(bào)價(jià)的成本分析過程指出了CBR在成本分析中的適用性針對沖壓產(chǎn)品的特點(diǎn)該文提出了適合于沖壓件事例表示、事例檢索的方法根據(jù)匹配特征完全匹配與不完全匹配兩種情況各自建立了事例的相似度計(jì)算模型

簡介：榆林氣田處于開發(fā)初期天然氣具有壓力高、凝析油含量低的特點(diǎn)目前采用常溫工藝流程凈化的天然氣不能滿足國家商品天然氣的要求天然氣在輸送過程中析出的凝析油嚴(yán)重影響陜京管線首站榆林壓氣站壓縮機(jī)的安全平穩(wěn)運(yùn)行氣田的生產(chǎn)能力得不到有效發(fā)揮為降低凝析油對生產(chǎn)的影響該文在調(diào)研國內(nèi)外低溫分離技術(shù)現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上優(yōu)選節(jié)流制冷的冷凝分離方法采用節(jié)流制冷、低溫三級高效分離工藝流程并在現(xiàn)場進(jìn)行了工業(yè)性試驗(yàn)通過現(xiàn)場試驗(yàn)確定了合理的工藝流程、氣田開采的廢棄壓力和該工藝流程的使用年限并優(yōu)化了注醇系統(tǒng)和注醇量經(jīng)低溫分離后的天然氣滿足國家規(guī)定的外輸商品天然氣的要求試驗(yàn)取得了技術(shù)上的成功和良好的經(jīng)濟(jì)效益該低溫分離工藝簡化了天然氣凈化流程對于低含凝析油的高壓氣田可以推廣應(yīng)用

簡介：點(diǎn)擊查看更多大紅山銅礦采礦工藝工程技術(shù)研究.pdf精彩內(nèi)容。

簡介：加工工藝決策是生產(chǎn)技術(shù)準(zhǔn)備工作的第一步，也是連接產(chǎn)品設(shè)計(jì)與產(chǎn)品制造之間的橋梁。工藝規(guī)劃決策是進(jìn)行工裝設(shè)計(jì)與加工路線設(shè)計(jì)的主要依據(jù)，它對組織生產(chǎn)、保證產(chǎn)品質(zhì)量、提高勞動生產(chǎn)率、降低成本、縮短生產(chǎn)周期及改善勞動條件等都有著直接的影響，因此是生產(chǎn)中的關(guān)鍵工作。針對加工中心上復(fù)雜箱體零件一次裝夾下的工藝決策，本文主要完成以下工作研究了加工方案的優(yōu)化選擇，通過從建立的箱體零件知識混合模型上獲取進(jìn)行工藝決策的特征信息，利用建立的關(guān)系模型生成加工方案候選集，對其進(jìn)行優(yōu)化獲得合理的加工方案；研究了刀具的整體優(yōu)化，根據(jù)生成的加工方案，結(jié)合箱體零件的特征信息，選擇合理的加工刀具；研究了基于約束模型的遺傳算法進(jìn)行工步排序，根據(jù)以輔助加工時(shí)間最短為優(yōu)化目標(biāo)的工步排序原則，建立了問題的數(shù)學(xué)優(yōu)化模型，采用多色集合理論中的圍道布爾矩陣建立了問題的約束模型，直觀地描述了問題的約束條件；設(shè)計(jì)了基于約束模型的遺傳算法進(jìn)行工步排序，由于引入了約束模型，遺傳算法的整個(gè)搜索過程都被控制在有效解范圍內(nèi)。論文采用多色集合理論建立工藝規(guī)劃模型，將零件的特征信息同工藝知識緊密的聯(lián)合到一起，彼此之間產(chǎn)生關(guān)聯(lián)；然后，主要利用多色集合中的著色的邏輯運(yùn)算，并結(jié)合模糊算法和遺傳算法進(jìn)行決策推理獲得合理的決策結(jié)果。本課題所設(shè)計(jì)的面向CAPP的箱體零件的工藝決策系統(tǒng)，是在CAXA實(shí)體設(shè)計(jì)平臺上利用VISUALC60進(jìn)行開發(fā)的。系統(tǒng)基于WINDOWSXP操作系統(tǒng)，采用MICROSOFTACCCSS數(shù)據(jù)庫進(jìn)行管理，具有友好的用戶界面。

簡介：洛伐他汀LOVASTATIN是一種重要的降膽固醇藥物，目前主要采用土曲霉ASPERGILLUSTERREUS液體深層發(fā)酵的方法生產(chǎn)。根據(jù)土曲霉的菌絲生長特性及洛伐他汀為胞內(nèi)產(chǎn)物的特點(diǎn)，本文提出了采用土曲霉固態(tài)發(fā)酵生產(chǎn)洛伐他汀，并系統(tǒng)地研究了其中的關(guān)鍵問題。在固態(tài)發(fā)酵中，準(zhǔn)確測定生物量是一項(xiàng)非常重要但又尚未很好解決的問題。本文對三種細(xì)胞組分核酸、麥角固醇、氨基葡萄糖作為生物量測定指標(biāo)的方法進(jìn)行了比較研究，發(fā)現(xiàn)土曲霉菌體中的核酸、麥角固醇和氨基葡萄糖含量都分別與菌體量存在較好的正線性關(guān)系。但菌體中麥角固醇含量受培養(yǎng)時(shí)間和培養(yǎng)基成分的影響較大；氨基葡萄糖量雖不受培養(yǎng)時(shí)間的影響，但與培養(yǎng)基成分的關(guān)系密切。因此上述二種細(xì)胞組分都不是測定生物量的最優(yōu)選擇。菌體中的核酸含量基本不受培養(yǎng)時(shí)間和培養(yǎng)基的影響，且測定方法簡單，適合于土曲霉和紅曲霉固態(tài)發(fā)酵時(shí)生物量的精確測定?？疾炝薃TERREUSZJU510菌株的生理和菌絲生長特性。土曲霉具有一定的淀粉酶活和纖維素酶活，適合在富含淀粉和纖維素的固態(tài)基質(zhì)上生長，但在不同培養(yǎng)基上的生長形態(tài)差異較大在馬鈴薯瓊脂培養(yǎng)基上，菌絲的生長較弱，容易產(chǎn)生孢子；在查氏培養(yǎng)基和麥芽汁培養(yǎng)基上，菌絲生長較好而產(chǎn)孢子較少；在大米基質(zhì)上，土曲霉較容易產(chǎn)孢子，菌絲生長較差，而且底物的利用不完全。由于洛伐他汀是菌絲體內(nèi)的產(chǎn)物，固態(tài)發(fā)酵中控制孢子生成是需要注意的重要問題。在三角瓶中系統(tǒng)地優(yōu)化了土曲霉固態(tài)發(fā)酵產(chǎn)洛伐他汀的條件，通過單因素實(shí)驗(yàn)，得到了土曲霉固態(tài)發(fā)酵產(chǎn)洛伐他汀的較優(yōu)培養(yǎng)基組成和發(fā)酵條件，采用二段固體發(fā)酵工藝先32℃培養(yǎng)3天，然后28℃培養(yǎng)8天，洛伐他汀的固態(tài)發(fā)酵產(chǎn)量達(dá)到了336MGG干曲?？疾炝斯虘B(tài)發(fā)酵過程中產(chǎn)物、基質(zhì)含水量和PH值等主要發(fā)酵參數(shù)的變化規(guī)律，研究了LOVASTATIN合成的動力學(xué)，發(fā)現(xiàn)在固態(tài)發(fā)酵的15天內(nèi)，菌絲量和洛伐他汀的含量快速增加，以后則增加緩漫，至11天達(dá)到最高值。說明洛伐他汀雖然屬于次級代謝產(chǎn)物，但與菌絲生長仍有一定的相關(guān)性。進(jìn)一步利用響應(yīng)面優(yōu)化法對固態(tài)發(fā)酵生成洛伐他汀的培養(yǎng)基和培養(yǎng)條件進(jìn)行了系統(tǒng)優(yōu)化，所獲得的最佳發(fā)酵條件為在大米培養(yǎng)基中添加乙酸鈉054％、葡萄糖336％、蛋白胨15％，基質(zhì)初始含水量為45％，接種量為25％。在此條件下洛伐他汀產(chǎn)量為399MGG干曲，比未優(yōu)化前的產(chǎn)量336MGG提高了188％。在小型自制固態(tài)發(fā)酵罐中，考察了基質(zhì)裝量、翻料操作以及通氣情況對發(fā)酵的影響，并測定了發(fā)酵過程中曲料溫度變化曲線。比較了三角瓶培養(yǎng)、淺盤培養(yǎng)和小型發(fā)酵罐培養(yǎng)的結(jié)果進(jìn)行了比較，結(jié)果表明，盡管淺盤培養(yǎng)和發(fā)酵罐培養(yǎng)的產(chǎn)量都略低于三角瓶培養(yǎng)，但由于小型發(fā)酵罐的通氣性優(yōu)于淺盤培養(yǎng)，洛伐他汀的產(chǎn)量也較高。建立了能夠較好反應(yīng)土曲霉菌體生長、底物消耗和洛伐他汀合成的動力學(xué)模型，從而為進(jìn)一步的固體發(fā)酵放大研究奠定了良好的基礎(chǔ)。在上述研究工作中，發(fā)現(xiàn)土曲霉固態(tài)發(fā)酵的洛伐他汀產(chǎn)量高于紅曲霉，但由于淀粉酶活力較弱，影響了其對固態(tài)底物的利用，使菌絲生長較差，容易產(chǎn)生孢子。紅曲霉菌株本身具有合成洛伐他汀的能力，而且產(chǎn)淀粉酶活力也較高。研究表明，ATERREUSZJU510和MRUBBERM7雙菌株混合固態(tài)發(fā)酵能夠達(dá)到優(yōu)勢互補(bǔ)，MRUBBERM7菌株的高淀粉酶活可以有效地彌補(bǔ)ATERREUSZJU510的不足，促進(jìn)ATERREUSZJU510菌株在固態(tài)基質(zhì)中生長，從而提高固態(tài)基質(zhì)中的菌體生物量和洛伐他汀的產(chǎn)量。利用基因組重排技術(shù)對土曲霉洛伐他汀的高產(chǎn)菌株進(jìn)行了選育。利用洛伐他汀濃度梯度平板和淀粉瓊脂平板，篩選耐洛伐他汀和高產(chǎn)淀粉酶的突變株，并通過搖瓶液體培養(yǎng)驗(yàn)證洛伐他汀產(chǎn)量。采用UVLICL和DES誘變育種，篩選出了六株菌株作為出發(fā)菌，然后經(jīng)過三輪基因組重排育種，獲得了一株高產(chǎn)突變株GS185，在優(yōu)化的固態(tài)發(fā)酵條件下，該菌株的洛伐他汀產(chǎn)量達(dá)到了817MGG干曲，約是原始出發(fā)菌株的產(chǎn)量399MGG的2倍。

簡介：目前半導(dǎo)體主流技術(shù)已經(jīng)步入納米時(shí)代而CMOS邏輯工藝流程也遇到越來越大的挑戰(zhàn)。本文針對我國半導(dǎo)體工業(yè)界最先進(jìn)的、處于國際前沿的65NMCMOS邏輯高性能工藝中關(guān)鍵工藝技術(shù)中的低溫選擇性鍺硅外延生長工藝技術(shù)和相關(guān)的器件結(jié)構(gòu)提出了改良和創(chuàng)新。本論文的主要研究內(nèi)容和成果如下1系統(tǒng)研究了65NM高性能工藝流程中“低溫選擇性鍺硅工藝”的關(guān)鍵工藝參數(shù)特別針對選擇性、鍺濃度、溫度幾個(gè)方面作了實(shí)驗(yàn)論證和理論研究。265NM工藝中的選擇性鍺硅外延生長對于生長表面的要求是極為苛刻并且非常難以控制所以如何提高選擇性鍺硅外延表面潔凈度和如何使鍺硅表面處理更加適合半導(dǎo)體工業(yè)化制造生產(chǎn)成為了65NM工藝研發(fā)中一個(gè)難點(diǎn)。本文所提出的“快速退火去除氧化物”加上HFLAST的濕法清洗創(chuàng)新技術(shù)能夠很好地解決這個(gè)65NM工藝研發(fā)中的技術(shù)難點(diǎn)。3由于源漏區(qū)選擇性鍺硅外延技術(shù)在65NM工藝中的應(yīng)用CMOS器件結(jié)構(gòu)和工藝流程發(fā)生了革命性的變化原先的器件結(jié)構(gòu)和工藝流程完全無法滿足65NM工藝的要求本文針對選擇性鍺硅工藝提出了新型工藝流程和CMOS器件結(jié)構(gòu)。提出了由氮化硅和氧化硅組成的“柵極保護(hù)犧牲層”概念能夠在不增加任何光罩層的前提下完全滿足65NM高性能工藝流程的要求。65NM高性能工藝的研究與工藝優(yōu)化是目前世界半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的重要研究課題本文所研究的內(nèi)容具有很好的理論意義和很高的實(shí)用價(jià)值。而與之相關(guān)的工藝研究更是具有國際的先進(jìn)性并且所研究的成果都已經(jīng)應(yīng)用量產(chǎn)的65NM工藝流程中。

簡介：點(diǎn)擊查看更多硅外延片生產(chǎn)工藝技術(shù)研究.pdf精彩內(nèi)容。