基于PSD激光三角法振動檢測分析研究(單晶爐爐體振動分析研究).pdf

1、振動的檢測在工業(yè)生產過程中有著重要的意義，如故障的診斷、設備的監(jiān)測、噪聲的分析與消除等都離不開振動的測量。而振動檢測的目的就是分析其整個系統(tǒng)中振動情況，最終確定振源，從而減小系統(tǒng)的振動，來提高系統(tǒng)的工作質量。本文主要前部分研究設計基于PSD激光三角法的振動檢測系統(tǒng)，后期研究了振動信號的處理算法及頻譜分析方法。
　　 本文首先主要研究了PSD的發(fā)展狀況及應用，對PSD進行了介紹，并對比CCD分別討論了各自的應用范圍與特性，詳細介紹

2、了PSD的結構與工作原理；激光三角法的原理及方法，分別介紹了直射式和斜射式的原理，并對比其各自的優(yōu)缺點。
　　 本文給出了PSD激光三角法的系統(tǒng)設計，激光三角法光學的設計以及PSD信號處理電路的設計，最后并分析了整個振動測量系統(tǒng)的基本性能。本系統(tǒng)具有良好的線性度，其最小分辨率能達到50um。在光學設計中，對傳統(tǒng)的激光三角法做了改進，以及確立最優(yōu)方案。在電學部分主要對PSD的信號處理進行了研究，設計了兩套方案，進行對比。最后完成了