半導(dǎo)體工廠設(shè)備維護管理系統(tǒng)的設(shè)計與實現(xiàn).pdf

1、在半導(dǎo)體晶圓制造廠中，共有擴散，薄膜，光刻，刻蝕，濕刻，芯片電性測量這六類設(shè)備，這些設(shè)備的維護管理工作對于晶圓的制造至關(guān)重要。
　　B公司是國內(nèi)某半導(dǎo)體晶圓制造廠，在半導(dǎo)體設(shè)備維護管理過程中，存在著人工制定工作計劃效率低下，Excel版工作計劃無法實現(xiàn)自動預(yù)警，故障設(shè)備繼續(xù)使用將導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量下降，工程師每日進入廠房點檢設(shè)備浪費時間，設(shè)備是否需要維護只能通過人工判斷，設(shè)備維護過程和結(jié)果不可監(jiān)測幾大問題。
　　本文在分析以上問題

2、的基礎(chǔ)上，提出了基于時間的設(shè)備維護優(yōu)化方案和基于規(guī)則的設(shè)備維護優(yōu)化方案，設(shè)計并實現(xiàn)了一個設(shè)備監(jiān)控與維護管理系統(tǒng)，系統(tǒng)的功能包括：基于時間的設(shè)備維修工作計劃制定，基于規(guī)則的設(shè)備維修工作計劃制定，設(shè)備參數(shù)設(shè)置，維護工作通知，維護工作記錄，工作報告查看幾個功能模塊。測試及應(yīng)用情況表明，該系統(tǒng)是可行及有效的。
　　與其他同類系統(tǒng)相比，本文的研究工作主要有以下特點：
　　1.針對設(shè)備維護所需參數(shù)的收集問題，通過SECS（半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備

3、通信標(biāo)準(zhǔn)）通信協(xié)議和RV中間件技術(shù)，實現(xiàn)了設(shè)備參數(shù)信息收集功能。應(yīng)用情況表明，系統(tǒng)減少了工程師定期查看設(shè)備的工作量，顯著提高了工程師工作效率。
　　2.針對設(shè)備是否需要 PM（預(yù)防性維護）只能人工判斷問題，故障設(shè)備繼續(xù)使用導(dǎo)致的產(chǎn)品質(zhì)量下降問題，實現(xiàn)了基于規(guī)則的設(shè)備維護功能，使用計算機自動判斷取代人工判斷，應(yīng)用情況表明，系統(tǒng)提高了工程師的工作效率。
　　3.針對人工使用Excel制定工作計劃效率低下問題，Excel版工作計劃