自動(dòng)物料搬送系統(tǒng)(AMHS)在晶圓制造中的應(yīng)用及效率改善.pdf

1、近幾年來半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展，技術(shù)的飛速發(fā)展也對半導(dǎo)體晶圓代工廠提出的更高的要求，如何提高生產(chǎn)效率的問題就擺在了我們的眼前。自動(dòng)物料搬送系統(tǒng)AMHS(Automatic Material Handling System)在半導(dǎo)體制造過程中將扮演非常重要的角色，當(dāng)然AMHS應(yīng)用不僅僅局限在半導(dǎo)體晶圓廠的應(yīng)用，它適用很多領(lǐng)域，但范圍最廣的還是在半導(dǎo)體晶圓代工廠。之所以晶圓廠會(huì)大規(guī)模的采用AMHS，基本上是基于它可以快速準(zhǔn)確的將Carrier搬

2、送到目的地，較少wafer的idle time，減少M(fèi)O(miss operation)，提高生產(chǎn)效率。
　　本人所在的公司是一家半導(dǎo)體晶圓代工企業(yè)，采用AMHS系統(tǒng)為半導(dǎo)體晶圓代工輔助生產(chǎn)。本人主要負(fù)責(zé)AMHS系統(tǒng)的管理和維護(hù)，有多年的系統(tǒng)分析經(jīng)驗(yàn)。本文主要通過探討AMHS系統(tǒng)當(dāng)前在半導(dǎo)體晶圓代工廠中的應(yīng)用，特別是對無塵室的布局，AMHS的結(jié)構(gòu)，性能指標(biāo)和影響因素的研究分析，針對不同的問題點(diǎn)結(jié)合實(shí)際工作中遇到的情況，提出理論改善

3、并進(jìn)行實(shí)際操作，統(tǒng)計(jì)對比前后的參數(shù)，達(dá)到提高改善的效果。
　　本論文的長遠(yuǎn)意義在于，希望能協(xié)助AMHS系統(tǒng)的制造廠家以及AMHS系統(tǒng)的應(yīng)用廠家在各自的生產(chǎn)過程中，能夠從中獲得一些啟示，優(yōu)化設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，在發(fā)生類似的問題的時(shí)候可以迅速的找到解決方向，而不必要走太多的彎路;或者可以根據(jù)論文的論述的影響因素，無論是從系統(tǒng)的設(shè)計(jì)階段，到生產(chǎn)階段，還是在客戶端的使用情況，都可以采取一定的預(yù)防措施，從而可以使AMHS系統(tǒng)能夠發(fā)揮更大的作用，提高整