微小零件平面度精密測量裝置研究與設(shè)計.pdf

1、對于航空航天靜壓軸承、靜壓導(dǎo)軌中的氣浮元器件等，都具有精度高、加工誤差難于檢測的特點。當(dāng)零件的尺寸小，平面度優(yōu)于1μm時，常規(guī)的平晶難于定量檢測。目前對于小尺寸零件平面度檢測可采用輪廓儀、超精密測量儀、臺階儀等設(shè)備，但是其價格卻十分的昂貴，并且大多測量儀器都是從國外引進，工程應(yīng)用成本高，不適合推廣應(yīng)用。在低成本下研究微小零件平面度高精度測量對于我國工業(yè)的發(fā)展有著深遠(yuǎn)意義。
　　本文設(shè)計了一種小尺寸零件平面度精密測量裝置，在滿足低成

2、本的前提下實現(xiàn)高精度測量，為小尺寸零件平面度的測量提供一種便捷、精確的測量手段。該裝置采用二維柔性導(dǎo)向機構(gòu)做為平面測量基準(zhǔn)，通過微分頭驅(qū)動工作臺實現(xiàn)二維平面掃描運動，測試并分析了導(dǎo)向機構(gòu)在x、y方向的導(dǎo)向精度，使用LVDT傳感器結(jié)合AD698設(shè)計一維測頭，由測力可調(diào)的電感測頭測量工件表面高度變化。采用標(biāo)準(zhǔn)平晶作為被測件在10mm×10mm范圍內(nèi)進行測量，對測量數(shù)據(jù)應(yīng)用最小二乘法進行平面度評價，得到設(shè)計的測量裝置的測量不確定度為0.644