精密異型微小回轉(zhuǎn)體件圓度圓柱度誤差檢測(cè)方法研究.pdf

1、分類號(hào)：——UDC：密級(jí)：編號(hào)：精密異型微小回轉(zhuǎn)體件圓度圓柱度誤差檢測(cè)方法研究StudyOnRoundnessAndCylindricityErrorDetectionMethodofPrecisiOnShapedMicroROtationalParts學(xué)位授予單位及代碼：拯查理王太堂!!!!!12學(xué)科專業(yè)名稱及代碼：堂堂王猩(QQ3QQ2研究方向：堂電型控夔苤盈邀矍申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：亟指導(dǎo)教師：塞查復(fù)數(shù)援研究生：塑堡男論文起止時(shí)間：201

2、111—201212摘要圓度與圓柱度誤差是衡量精密回轉(zhuǎn)零件很重要的指標(biāo)，一般尺寸零件的測(cè)量方法很多，但針對(duì)精密微小零件的測(cè)量方法較少，尤其是微小孔徑表面的測(cè)量方法更是罕見(jiàn)。目前微小孔徑表面測(cè)量方法都是應(yīng)用了特殊加工的探針，以接觸式測(cè)量為主，而對(duì)于微小孔徑表面的非接觸式測(cè)量方法沒(méi)有查到相關(guān)資料。本文在此提出了一種解決微小零件孔徑表面圓度誤差檢測(cè)的新方法。應(yīng)用激光共焦測(cè)量原理并將激光共焦位移傳感器與微小旋轉(zhuǎn)反射鏡聯(lián)用，反射鏡伸入被測(cè)孔徑內(nèi)部

3、實(shí)現(xiàn)測(cè)量并轉(zhuǎn)化了精密軸系主軸徑跳誤差對(duì)測(cè)量值的影響。應(yīng)用激光三角法測(cè)量原理實(shí)現(xiàn)微小零件柱形表面圓柱度誤差測(cè)量。將精密密珠軸系與圓光柵傳感器聯(lián)接，計(jì)算在測(cè)量過(guò)程中每一測(cè)量點(diǎn)對(duì)應(yīng)的徑跳誤差值與軸的偏移方向，實(shí)現(xiàn)誤差的無(wú)偏消除。介紹了圓度與圓柱度誤差的評(píng)定方法，提出了一種圓度誤差綜合評(píng)定方法。本文沒(méi)計(jì)的測(cè)量方法成功的應(yīng)用到微小零件圓度與圓柱度誤差檢測(cè)中，提高了檢測(cè)精度，彌補(bǔ)了微小孔徑表面非接觸式測(cè)量方法的空白。關(guān)鍵詞：圓度；圓柱度：激光共焦測(cè)