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文檔簡介
1、該論文制備出了一系列的Sr<,x>Ba<,1-x>Nb<,2>O<,6>(SBN)鐵電電光薄膜材料;并用橢偏光譜、透射光譜法等光學檢測方法對其進行了分析研究,得到了一些有意義的結(jié)果.該論文的主要內(nèi)容如下:1.用Sol-Gel法生長、制備出了一系列不同退火溫度的SBN鐵電電光薄膜,用橢偏光譜法對其進行了測量,得到了一系列不同退火溫度的SBN薄膜橢偏參數(shù)譜,并對所測的橢偏光譜進行了數(shù)值反演計算和分析研究,首次得到了SBN鐵電電光薄膜的光學常
2、數(shù)與退火溫度之間的關(guān)系.2.對由脈沖激光沉積(PLD)法制備的外延SBN鐵電電光薄膜進行了透射光譜測量、分析和研究,得到了外延SBN鐵電電光薄膜的光學常數(shù).3.對超薄(膜厚幾個或幾十nm)類金剛石薄膜進行了橢偏光譜法測量分析和研究,得到了超薄類金剛石薄膜的厚度.4.橢偏光譜解譜及數(shù)值反演方法一直是橢偏光譜研究的一個重要課題,該文最后嘗試把遺傳算法(GA)這種新方法應用到橢偏光譜解譜及數(shù)值反演中,以達到優(yōu)化計算和快速解譜的目的,并把遺傳算
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