基于準LIGA技術制作微齒輪的研究.pdf

1、LIGA技術是近年來才開展起來的一門新技術，是微細加工的一種較理想新方法。其主要工藝有X射線光刻，電鑄成型和塑料鑄模等。由于同步輻射X光有非常好的平行性、極強的輻射強度、連續(xù)的光譜，使LIGA技術能夠制造出高寬比大到500、厚度幾近1000μm的微三維立體結構。它在制造很厚的微機械結構方面有其獨特優(yōu)點，在高深寬比微結構的制作上也占有很重要的地位。LIGA技術的出現(xiàn)，使原來難以實現(xiàn)的微機械結構能夠制造出來。但是，LIGA技術采用同步輻射X

2、射線進行光刻，設施昂貴，掩模制造工藝復雜，限制了它的廣泛應用。因此，如能采用常規(guī)的紫外線光刻，結合其它的MEMS技術制作可動微結構將會大大推動MEMS的研究工作。 本文以一種微齒輪傳動結構的制作過程為例，探索了一種基于LIGA的新型準LIGA技術。該技術有如下三大特點：首先，光刻過程采用普通紫外線曝光，設備便宜；其次，結合三層光刻膠光刻工藝制作鍍模，制作的微齒輪結構厚度能達到40μm，深寬比為2；最后，為控制微齒輪的內孔和軸之間