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1、西安電子科技大學(xué)碩士學(xué)位論文4HSiC緩變摻雜基區(qū)雙極晶體管研究姓名:李佳玄申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別:碩士專業(yè):微電子與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師:張玉明20100101AbstractAbstractInthisthesis,thecharacteristicsof4HSiCBipolarJunctiomTransistor(BJT)withdifferentstructurealestudiedbythedevicesimulationAphysica
2、lmodelthatcallwelldescribetheexperimentresultswasdevelopedWithGaussiandopedbaseregionACandDCsimulationresultsaleimprovedandcurrentgainisincreasedfrom1665tO4449comparingwithbaseconstant—doped,andalsosomeparameterssuchastu
3、monvoltage,outputresistanceandEarlyvoltagehaveacertaindegreeimprovedThe4HSiCBJTwithepitaxialthree—layerbaseisanalyzedanditisfoundthatmultibaseepitaxialstructurecaneffectivelyimprovethecurrentandfrequencycharacteristicsTh
4、eprocessforthedeviceisfleeofionimplantationandhightemperatureannealingprocess,SOthatitwillgreatlyreducetheSiCcrystallatticedamageofthesurfaceandimprovethequalityofpassivationlayerbetweenbaseandemittertherebyenhancethecur
5、rentgainThemainworkofthisthesisistOsimulatecharacteristicsofgradebase4H—SiCBJT’S,andithastheimportantsignificanceforthedevelopmentofSiCpowerdevicesKeyword:4HSiCBipolarJunctionTransistorGaussian。dopedGradedopedACsmallsign
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