引線鍵合高頻超聲換能器的設(shè)計和鍵合頭運動控制研究.pdf

1、旨在提高引線鍵合設(shè)備的速度、封裝質(zhì)量和超聲能量的轉(zhuǎn)化效率，本文針對引線鍵合用高頻超聲換能器設(shè)計方法和實驗測試作了詳盡研究，同時探討了鍵合頭運動控制系統(tǒng)的搭建和調(diào)試。全文工作和取得的成果如下：
　　 根據(jù)振動和波動理論建立聚能器和換能器的數(shù)學(xué)解析模型，推導(dǎo)出其頻率方程，通過機電等效原理，建立了壓電換能器系統(tǒng)的機電等效電路，為換能器拓撲模型的設(shè)計提供了理論依據(jù)。
　　 利用上述解析方法，求解出換能器的初始幾何拓撲模型，借助有

2、限元分析軟件ANSYS對換能器的各組成部件以及換能器整體作諧振特性分析，并綜合考慮各組成部件對換能器性能的影響規(guī)律，通過參數(shù)化建模方法進行優(yōu)化設(shè)計，最終建立了壓電換能器的最優(yōu)模型。
　　 借助阻抗分析儀對所設(shè)計的壓電換能器進行阻抗特性測試，結(jié)果表明，實驗與有限元分析有很好的一致性。
　　 對引線鍵合頭運動部件作動力學(xué)模態(tài)分析，提取其在一定頻率范圍內(nèi)的振動形式，并深入探討了這些振動形式對鍵合過程的影響，為鍵合頭的結(jié)構(gòu)優(yōu)化和