平面電機(jī)功率驅(qū)動(dòng)器的研究.pdf_第1頁(yè)
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1、光刻機(jī)是集成電路裝備中最重要、最復(fù)雜的核心關(guān)鍵設(shè)備，其加工芯片的精度決定了芯片的集成度與性能，直接體現(xiàn)了一個(gè)國(guó)家的制造技術(shù)水平和能力。其中平面電機(jī)為核心部件，它要求大推力、高響應(yīng)、高線性度以實(shí)現(xiàn)高速精密驅(qū)動(dòng)，故對(duì)驅(qū)動(dòng)器提出了嚴(yán)格的要求。本課題針對(duì)光刻加工對(duì)平面電機(jī)驅(qū)動(dòng)器的實(shí)際需要，提出了一種采用大功率三級(jí)管組成的平面電機(jī)伺服驅(qū)動(dòng)器結(jié)構(gòu)，并進(jìn)行了分析與設(shè)計(jì)。
　　 本文先介紹了功率放大電路的特點(diǎn)，并結(jié)合平面電機(jī)對(duì)驅(qū)動(dòng)器的要求給出了

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