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1、本文概述了微機(jī)電系統(tǒng),介紹了微細(xì)制造技術(shù)及超聲微細(xì)加工和電解微細(xì)加工技術(shù)的現(xiàn)狀;著重分析了超聲電解復(fù)合微細(xì)加工用于MEMS器件制造的理論可能,研究了實(shí)施超聲電解微細(xì)加工的基礎(chǔ)條件.本文創(chuàng)建了超聲電解微細(xì)復(fù)合加工工藝試驗(yàn)系統(tǒng).從變幅桿的設(shè)計(jì)制造,到設(shè)計(jì)制作不同截面形狀的工具頭(如直徑為φ1mm的圓形工具頭、邊長(zhǎng)為1mm的方形工具頭和三角形工具頭),對(duì)壓電陶瓷、硬質(zhì)合金YG8、硬質(zhì)合金YT15進(jìn)行了單一超聲加工對(duì)比試驗(yàn)以及對(duì)硬質(zhì)合金進(jìn)行了超
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