外延設(shè)備硅片傳輸控制軟件研發(fā).pdf

1、集成電路是電子信息產(chǎn)業(yè)的重要基礎(chǔ)，IC制造裝備作為其技術(shù)先導(dǎo)，是信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展的支柱。據(jù)統(tǒng)計，硅外延片銷量占全球整體硅片市場的份額超過30％，并且其需求量呈現(xiàn)出持續(xù)上升的態(tài)勢，國內(nèi)對硅外延片的需求增速則更為迅猛，需求迫切。國外，200mm、300mm的硅外延片已成主流;而國內(nèi)能制造的硅外延片主要為100-150mm，對200mm及以上尺寸的硅外延片制造則不具能力，只能依賴進(jìn)口。
　　 硅片傳輸控制軟件是硅外延片生產(chǎn)制造的依托，軟件

2、質(zhì)量的高低直接影響著硅外延片的質(zhì)量。目前，國內(nèi)擁有對硅片傳輸機(jī)器人系統(tǒng)或硅片預(yù)對準(zhǔn)系統(tǒng)的研發(fā)，但不管是硅片傳輸機(jī)器人系統(tǒng)還是硅片預(yù)對準(zhǔn)系統(tǒng)都只是硅片傳輸控制系統(tǒng)的一個子系統(tǒng)，本文將著重對整個硅片傳輸控制系統(tǒng)進(jìn)行研究，開發(fā)出符合要求的外研設(shè)備硅片傳輸控制軟件。
　　 首先，本文采用分層模塊化的設(shè)計方法對外研設(shè)備硅片傳輸控制軟件進(jìn)行設(shè)計，以滿足軟件的擴(kuò)展性、易用性，減小軟件的出錯率，提高軟件質(zhì)量;其次，本文利用有限狀態(tài)機(jī)原理設(shè)計軟件