PECVD設(shè)備研發(fā)項目計劃與控制研究.pdf

1、PECVD設(shè)備研發(fā)項目計劃與控制研究的目的是為了解決PECVD設(shè)備研發(fā)中經(jīng)常遇到的工期延遲，費用大大超額，甚至導(dǎo)致最終項目終止等一系列不可預(yù)知的情況。現(xiàn)在中國半導(dǎo)體設(shè)備的研發(fā)經(jīng)驗缺乏，加上技術(shù)不過關(guān)，沒有明確的計劃與有效的控制，常常不能達(dá)到理想的效果，導(dǎo)致企業(yè)因為擔(dān)心沒有利潤很少愿意做研發(fā)。本文為了解決這一問題，通過項目計劃與控制理論知識對PECVD設(shè)備研發(fā)進(jìn)行了詳細(xì)計劃并從進(jìn)度、費用和質(zhì)量上進(jìn)行嚴(yán)格控制，以期項目能夠理想順利完成。

2、r>　　本文從明確PECVD設(shè)備研發(fā)項目的特點開始，明確并細(xì)化項目目標(biāo)，在進(jìn)行項目計劃與控制研究中，運用定性分析法和定量分析法系統(tǒng)地對項目整體進(jìn)行計劃與控制加以研究。本文通過甘特圖和工作分解結(jié)構(gòu)WBS等工具對PECVD設(shè)備研發(fā)進(jìn)行工作分解、實施責(zé)權(quán)分配、最終確定進(jìn)度安排，并用評審計劃技術(shù)方法PERT對計劃結(jié)果進(jìn)行優(yōu)化。對項目的控制方面，著重對進(jìn)度、質(zhì)量和成本進(jìn)行了研究，賦予每項工作權(quán)重對項目進(jìn)展進(jìn)行分析，通過偏差分析表來進(jìn)行進(jìn)度控制，確