金屬納米團(tuán)簇的束流密度控制研究.pdf

1、隨著超短超強(qiáng)激光的不斷發(fā)展，團(tuán)簇與激光相互作用引起研究者的廣泛關(guān)注。團(tuán)簇的自身特性對(duì)激光與團(tuán)簇相互作用效果影響很大。束流密度是金屬納米團(tuán)簇束流的特征參數(shù)之一，束流密度的大小直接影響團(tuán)簇束流與強(qiáng)激光作用的物理現(xiàn)象信號(hào)強(qiáng)度。因此，制備出束流密度可控、可測(cè)量的金屬納米團(tuán)簇束流十分重要。采用等離子體氣相凝聚技術(shù)并結(jié)合差分抽氣技術(shù)產(chǎn)生金屬納米團(tuán)簇束流，然后在襯底上沉積出納米團(tuán)簇薄膜，利用石英晶體膜厚監(jiān)測(cè)儀在線測(cè)量團(tuán)簇束流沉積速率，通過數(shù)學(xué)計(jì)算可以

2、間接獲得金屬團(tuán)簇束流密度。研究束流密度與濺射電流、結(jié)露區(qū)長(zhǎng)度、氬氣流量等工藝參數(shù)之間的關(guān)系。另外，實(shí)驗(yàn)建立了團(tuán)簇束流靜電場(chǎng)聚焦系統(tǒng)，探索聚焦電場(chǎng)的形狀及電場(chǎng)強(qiáng)度等參數(shù)對(duì)聚焦效果的影響。論文研究的具體內(nèi)容及結(jié)論如下：
　　1.利用納米團(tuán)簇源在超高真空?qǐng)F(tuán)簇束流沉積室中獲得了沉積速率可控的金屬銅和銅金合金納米團(tuán)簇束流，并利用石英晶體薄膜在線監(jiān)測(cè)儀在線測(cè)量薄膜沉積速率。
　　2.建立了團(tuán)簇薄膜沉積速率與團(tuán)簇束流密度關(guān)系的數(shù)學(xué)模型。<