濕法腐蝕結合ZnO納米棒作為硅基太陽能電池減反膜的研究.pdf

1、太陽能電池是一種能有效的把光能轉化為電能為人們利用的設備。提高太陽能電池光電轉換效率無疑成為當前的熱門研究之一，具有重要意義。而提高太陽能電池表面對光的吸收是其中的一個關鍵技術。表面減反層是一種具有良好的減少全波段光的反射，提高光吸收的有效手法。
　　本文利用折射率漸進型減反層來減小硅表面的反射率。我們通過水熱法在硅表面生長ZnO納米棒薄膜來減少硅片表面對光的反射，提高對光的吸收。我們先通過FDTD模擬來確定合適的納米棒形貌，然后

2、通過改變生長條件來控制納米棒形貌，從而達到最好的抗反射效果。我們成功地把無任何處理的拋光硅片表面的反射率從35％左右減少到略低于10％。
　　我們又利用四甲基氫氧化銨(Tetramethyl Ammonium Hydroxide TMAH)濕法腐蝕在硅表面腐蝕出金字塔結構，使反射率下降到7％以下。然后再在腐蝕后的硅片表面生長ZnO納米棒，使反射率進一步下降到了3％左右。此工藝簡易高效，低成本，重復性好，有望得到應用。
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