氣體擠壓膜懸浮平臺控制系統(tǒng)的設(shè)計與研究.pdf

1、基于氣體擠壓膜原理的氣體擠壓膜軸承是一種新型支承方式,具有結(jié)構(gòu)簡單、支承精度高、適應(yīng)性好等優(yōu)點,在精密儀器和微細加工等領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。雖然氣體擠壓膜軸承的研究在不斷發(fā)展,但其一直沒能在工程領(lǐng)域得到有效應(yīng)用。設(shè)計一種適用于氣體擠壓膜軸承的驅(qū)動控制系統(tǒng),將是推動氣體擠壓膜軸承向生產(chǎn)實踐發(fā)展的重要環(huán)節(jié)。
　　以氣體擠壓膜理論為基礎(chǔ),通過對氣體潤滑雷諾方程進行數(shù)值求解,分析了激振振幅與激振頻率對擠壓膜的影響。根據(jù)分析得到的結(jié)論,以

2、實驗室已有氣體擠壓膜懸浮平臺為控制對象,提出了一種氣體擠壓膜懸浮平臺的控制系統(tǒng)設(shè)計方案。設(shè)計并制作了控制系統(tǒng)的硬件電路,該硬件電路以基于STC12C5412AD單片機的數(shù)字控制器模塊為核心,由可變增益放大器模塊、信號發(fā)生器模塊、驅(qū)動電源模塊等電路組成。通過簡化力學(xué)模型的方法,建立了氣體擠壓膜懸浮平臺的數(shù)學(xué)模型。采用C語言編寫了基于不完全微分PID控制算法的控制系統(tǒng)軟件。
　　搭建了氣體擠壓膜懸浮平臺試驗系統(tǒng)。應(yīng)用所設(shè)計的控制系統(tǒng)進