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文檔簡介
1、針對微型機電系統(tǒng)中存在的摩擦問題，以及現(xiàn)有摩擦測試設(shè)備并不適用于研究微機電系統(tǒng)中的摩擦磨損現(xiàn)象。本文參考現(xiàn)有摩擦測試設(shè)備和微機電系統(tǒng)的工作條件設(shè)計了一臺用于研究微小摩擦磨損測試的系統(tǒng)，該系統(tǒng)包含:往復(fù)運動系統(tǒng);旋轉(zhuǎn)運動系統(tǒng);正壓力載荷和摩擦力的測量系統(tǒng);磨損在線檢測系統(tǒng);環(huán)境控制系統(tǒng)，具有的功能包含:正壓力載荷的恒定施加;往復(fù)摩擦與連續(xù)摩擦測試;正壓力載荷和摩擦力的測量;摩擦樣件的磨損在線檢測;溫濕度檢測與控制溫濕度的恒定。利用Ligh
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