微小摩擦磨損測(cè)試系統(tǒng)設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)分析.pdf_第1頁(yè)
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1、微小零部件(如MEMS中的微小部件)間的摩擦介于宏觀與微觀之間，其量級(jí)在微牛級(jí)至毫牛級(jí)范圍內(nèi)。由于尺寸效應(yīng)和表面效應(yīng)，微小零部件間的摩擦成為影響其性能和可靠性的關(guān)鍵?，F(xiàn)有的摩擦測(cè)試手段與微小零部件實(shí)際工況相差很大，本文設(shè)計(jì)了微小摩擦磨損測(cè)試系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)微小零部件之間的摩擦磨損測(cè)試。該系統(tǒng)主要功能為：法向正壓力載荷加載、法向正壓力載荷測(cè)量和橫向摩擦力測(cè)量。主要包括進(jìn)給系統(tǒng)、轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)、測(cè)試傳感系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)四大部分。利用CATIA軟件對(duì)

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