雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的H型運(yùn)動(dòng)平臺(tái)控制研究.pdf

1、硅片臺(tái)是光刻機(jī)等IC制造裝備的核心部件之一,主流的硅片臺(tái)結(jié)構(gòu)都采用H型布局,因此研究H型精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)具有十分重要的意義,本文主要研究H型精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)控制問(wèn)題。
　　首先,本文詳細(xì)介紹雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的H型運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的結(jié)構(gòu)特點(diǎn),闡明H型運(yùn)動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)控制的基本框架,對(duì)H型運(yùn)動(dòng)平臺(tái)進(jìn)行力學(xué)模型簡(jiǎn)化和假設(shè),使用Matlab/Simulink/SimMechanics建立運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的精確動(dòng)力學(xué)模型,分析其運(yùn)動(dòng)特性及控制難點(diǎn);
　　其次

2、,針對(duì)這樣一個(gè)高速度、微進(jìn)給和低阻尼的直接驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),使用超前校正和PI調(diào)節(jié)相結(jié)合的方法,設(shè)計(jì)了三環(huán)控制系統(tǒng),使用前饋控制器減小跟隨誤差,設(shè)計(jì)速度信號(hào)干擾觀測(cè)器減小干擾對(duì)系統(tǒng)精度的影響;
　　最后,在完成單軸直線電機(jī)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)上,針對(duì)雙邊驅(qū)動(dòng)的兩臺(tái)直線電機(jī)發(fā)生的不同步運(yùn)動(dòng)現(xiàn)象,分析其不同步運(yùn)動(dòng)的誤差來(lái)源,設(shè)計(jì)基于位移和加速度前向補(bǔ)償?shù)姆椒A(yù)測(cè)負(fù)載波動(dòng)的大小,極大的減小了質(zhì)心偏移導(dǎo)致的同步運(yùn)動(dòng)誤差,設(shè)計(jì)模糊反饋補(bǔ)償控制器減小前