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1、分類號UDC:Y930767密級:——編號:——aSi:HTFTSPICE模型的研究ResearchofSPICEModelforaSi:HTFT學(xué)位授予單位及代碼:蓬盤壟墨盤芏!!Q182專業(yè)名稱及代碼:叢生堂當(dāng)固堡墊主堂fQ8Q2Q31研究方向:堂塹星垂墊盔叢墨鮭申請學(xué)位級別:王莖墅指導(dǎo)教師:益查墨蘭盤生奎捶盟塞亟答醉委員會i席:——量盔出生贊蜜墊叢生塹壟塹窒盟疊妻遺盟杰亟研究生:至豆塑論文評閱人:籃量生論文起止時間:2QQ3:!Q
2、:2Q始:12:型:盈絲AbstractTFT(ThinFilmTraIlsistor)is、videlyusedfordiSplaysThemainTFTisa_Si:HTFTwhichisswitchingdeviceofactivema打iXliquidcrystaldisplayWiththewideapplicationofaSj:HTFT,theestablishmentofitsmodelsbecomesavervimpo
3、rtantquestionforstudyAccuratea_Si:HTFTmodelsarerequiredforSPICEsimulatorsSevemlpapershavealreadybeenpublishedregardingmephvsicsandthemodelsofaSi:HTFT’but出evareinsu街cientfortoday’sad瑚cedLCDsimulationsThjsthesismainlvstudi
4、edSPICEmodelforaSi:HTFTwhichisapanofnational“863”project,“StudyofLargeSizea11dhi曲qual畸a—SiTFTOLEDtechnolOgy”TheanalysisaIldmodelsareapplicableto血esimulationoftoday’sopticaJcharacteriz“onsofFlat,PaIlelDisplavsIntllisthesi
5、sthenewmOdelsofa—Si:HTFTareestablishedforSPICE,onmebasisofinverted—s詛ggerstmctureaSi:HTFTofbackchallnelstoppedt),pesC刪一v01tageandc印ac“a11cevoltagearealsotestedFromtllecapacitancecurve,theprocessparametersareex廿acted,such
6、asdopantconcentration,fixedchargedensjty,interfacestate,etcThispaperanalyzedlocalizedstate,subtllrcsh01dcurrent,ofrleakagecurrent,thefielde丘毫ctmobilit_Ir,biasandfrequencv—dependentcapacitance,themresh01dvonagechangewithv
7、oltagestressa11ddevicetemperature,etcThisnlesisfocusesontheestablishmentofnew捌ncun己ntmodelsintlle1inearregion,thesaturationregion,thefonvardaIldreversesub—mresholdregion,a11dnewofBleakagecurrentmodelsintheo行regiononbased
8、ofMOSFETmodelIIladditionⅡleprecisebiasand行equency—dependemMIScapacitancemodelsarcestablishedSomemodelpar鋤etersareextracted,suchasⅡ1rcsholdvoltage(VTo),mobility(“0)etcSimulationresultsbyusingtllesemodelsaJldpar踟etersshowg
9、oodagreementbetweenmeasuredandsimulateddata1、hemodelsa∞applicabletotheaSi:HTFTdeviceswithdi虢remprocessstmcturesThemodelingprocedureisusefmtoTFTdesigIlers,Keywords:a—Si:HTFTSPlCEmodel,IVcharacterization,CVcharacterization
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