自適應逆控制在直線電機控制系統中的應用.pdf

1、隨著電子工業(yè)的飛速發(fā)展，晶片的應用范圍越來越大，晶片加工技術也越來越受到重視，它反映出一個國家IC制造業(yè)的規(guī)模和工藝水平。多線切割是切割大直徑硅單晶棒非常有效的方法之一，但其伺服進給一般采用旋轉電機+滾珠絲杠方式，本課題采用的直線電機可消除旋轉電機由旋轉運動到直線運動的機械傳動鏈的影響，具有更高的動態(tài)響應能力和優(yōu)良特性，是當前的一種發(fā)展趨勢。
　　現代數控系統要求伺服控制向高精度、高速度方向發(fā)展，以適應生產的需要，這就要求必須提高

2、伺服系統的控制精度。本文在對線切割機工作臺單軸直線伺服系統的進給控制問題進行了較為深入研究的基礎上，提出一種改進的神經網絡BP算法，用分層學習率和熵函數的方法提高了算法的學習效率和精度，并結合自適應逆控制方法，設計了直線永磁同步伺服電機的神經網絡自適應逆控制系統，給出了NNC和NNI的詳細結構。
　　傳統的控制算法是建立在電動機數學模型的基礎上的，系統的控制性能往往受模型的精確程度和電動機的參數影響較大，而且調節(jié)器必須在跟蹤與消噪