微機電系統(tǒng)（MEMS）中超微質(zhì)量檢測研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、 本文在分析現(xiàn)有微質(zhì)量測量方法的基礎上，提出了超微質(zhì)量測量方法的設計思路，大膽采用高精度高回轉度的微氣動靜壓軸承作為超微質(zhì)量轉換裝置的主軸，并結合激光三角測量方法將微小偏轉角轉換成微弱電信號，然后采用測量電路對微弱電信號進行采集放大、模數(shù)轉換、運算及數(shù)模轉換等處理，處理后的信號經(jīng)過功率放大后輸出到采用壓電微執(zhí)行器的反饋執(zhí)行機構，從而構成一個閉環(huán)測量系統(tǒng)，有效地降低測量系統(tǒng)對各個測量環(huán)節(jié)地精度要求，提高系統(tǒng)整體的精度和穩(wěn)定性。根據(jù)該設計

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