掃描電機(jī)運(yùn)動(dòng)特性參數(shù)的非接觸測(cè)試計(jì)量技術(shù)研究.pdf

1、掃描電機(jī)是激光制造、紅外掃描成像等系統(tǒng)的關(guān)鍵部件，要求它要具備高速度均勻性、高光學(xué)穩(wěn)定性。掃描電機(jī)的性能直接關(guān)系到系統(tǒng)的精度，對(duì)掃描電機(jī)的擺動(dòng)角度范圍、線性段的速度均勻性、時(shí)間利用率、零位重復(fù)性、轉(zhuǎn)軸與鏡面的不平行度等特性參數(shù)高精度測(cè)試是必要的。
　　本論文采用激光自準(zhǔn)直技術(shù)，以磁柵傳感器與扇形部件構(gòu)成標(biāo)定系統(tǒng)，以激光器與光電位置傳感器構(gòu)成檢測(cè)系統(tǒng)，設(shè)計(jì)了掃描電機(jī)動(dòng)態(tài)測(cè)試系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了將靜態(tài)自校準(zhǔn)和動(dòng)態(tài)測(cè)試相結(jié)合的全自動(dòng)測(cè)試過(guò)程。首

2、先分析了掃描電機(jī)的運(yùn)動(dòng)特性和電氣特性，推導(dǎo)了掃描電機(jī)特性參數(shù)的測(cè)試原理，搭建了光學(xué)平臺(tái)，設(shè)計(jì)了校準(zhǔn)系統(tǒng)，介紹了測(cè)試系統(tǒng)的控制硬件結(jié)構(gòu)，包括組合臺(tái)的控制、信號(hào)采集系統(tǒng)的配置，光電位置傳感器和磁柵傳感器的使用方法。其次，使用C++Builder開(kāi)發(fā)平臺(tái)設(shè)計(jì)了高均勻掃描電機(jī)測(cè)試調(diào)試軟件，包括對(duì)光電位置傳感器的零位標(biāo)定和線性化標(biāo)定，控制4自由度電動(dòng)控制臺(tái)進(jìn)行電機(jī)鏡面的位置找準(zhǔn)，采集光電位置傳感器和磁柵傳感器的位移數(shù)據(jù)，利用小波變換方法對(duì)信號(hào)進(jìn)行