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文檔簡介
1、本文在綜述國內(nèi)外光電產(chǎn)品檢測裝備的基礎(chǔ)上,首先提出了適合于各類光電產(chǎn)品的初、中、高級(jí)三種檢測方法及其對機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)的要求,并以兩類規(guī)格(1m×1m、2m×1m)的檢測組件為例,對高級(jí)檢測方法進(jìn)行了詳細(xì)的檢測方案設(shè)計(jì),并獲得了相應(yīng)的兩種優(yōu)選方案;接著,進(jìn)行了機(jī)構(gòu)概念設(shè)計(jì),提出了系列可應(yīng)用于各類光電產(chǎn)品檢測方法的2~6-dof并/混聯(lián)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)機(jī)構(gòu)共13種,其中,應(yīng)用于初級(jí)檢測的機(jī)構(gòu)3種,中級(jí)檢測的機(jī)構(gòu)2種,高級(jí)檢測的機(jī)構(gòu)8種,并進(jìn)行了結(jié)構(gòu)分析;
2、第三,詳細(xì)分析了兩種可應(yīng)用于初級(jí)檢測方法的3-dof平面型光電產(chǎn)品檢測平臺(tái)機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)學(xué),包括運(yùn)動(dòng)學(xué)正逆解求解、可達(dá)工作空間分析、誤差建模與仿真;第四,推導(dǎo)出3-dof(X-Y-θ)子工作臺(tái)、伸縮桿式和滑塊式3-dof并聯(lián)子平臺(tái)三種機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)源尺寸參數(shù)計(jì)算公式與方法,并分別對兩種6-dof光電產(chǎn)品檢測平臺(tái)的極限位置進(jìn)行了分析和計(jì)算,用Matlab計(jì)算得到了兩個(gè)具體規(guī)格檢測件的各驅(qū)動(dòng)源尺寸;其次,推導(dǎo)了伸縮桿式、滑塊式6-dof光電產(chǎn)品檢測
3、平臺(tái)機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)學(xué)方程,并對其進(jìn)行了運(yùn)動(dòng)學(xué)仿真;然后,以滑塊式6-dof光電產(chǎn)品檢測平臺(tái)機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)學(xué)正解模型為基礎(chǔ),依據(jù)矩陣全微分理論,導(dǎo)出機(jī)構(gòu)位姿誤差與結(jié)構(gòu)誤差、輸入誤差之間的關(guān)系,建立了該種6-dof平臺(tái)的誤差模型,仿真分析了結(jié)構(gòu)誤差、輸入誤差對機(jī)構(gòu)精度的影響;最后,采用Solidworks三維軟件建立滑塊式6-dof光電產(chǎn)品檢測平臺(tái)機(jī)構(gòu)的三維實(shí)體模型,并運(yùn)用Ansys有限元分析軟件進(jìn)行了靜剛度分析,得到了機(jī)構(gòu)在外力作用下兩種不同姿態(tài)
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