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文檔簡介
1、該文詳細(xì)研究了對氫化碳膜進(jìn)行胺基團(tuán)摻雜的方法,工藝條件.采用等離子體輔助化學(xué)氣相沉積方法,以碳?xì)浠衔镎“?CH<,3>CH<,2>CH<,2>CH<,2>NH<,2>)作為碳源物質(zhì),用高純氫氣作為載氣,將面源物質(zhì)攜帶進(jìn)入反應(yīng)室.文章對所制備的摻受膜的組成組份,密度,結(jié)構(gòu)等基本性能進(jìn)行了測試分析和研究.結(jié)果表明該實(shí)驗(yàn)中摻胺巖石膜沉積反應(yīng)為脫氫反應(yīng).以石英晶作為轉(zhuǎn)換器,以摻胺碳膜作為敏感物質(zhì)制成氣相質(zhì)量傳感器.文章研究了摻受碳對有機(jī)蒸氣
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