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1、鐵電薄膜具有鐵電、壓電、熱釋電、電光等一系列重要特性,是一類重要的功能材料,在微電子學(xué)和光電子學(xué)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,其中最重要的應(yīng)用之一是鐵電存儲(chǔ)器.鐵電存儲(chǔ)器具有非揮發(fā)、存取速度快、抗輻射等優(yōu)點(diǎn),成為當(dāng)今存儲(chǔ)器發(fā)展的重要新方向.鈦酸鉍薄膜有許多組成不同的相,SrBi<,4>Ti<,4>O<,15>薄膜的研究和制備都比較晚,對(duì)它的性質(zhì)了解更少,是一種重要的新型薄膜材料.(一)該論文采用化學(xué)溶液分解法(CSD法)以硝酸鉍(分子式:Bi(
2、NO<,3>)<,3>5H<,2>O)鈦酸四丁脂(分子式:Ti(OC<,4>H<,9>)<,4>)和醋酸鍶(Sr (CH<,3>COO<,2> 1/2H<,2>O)為原料制備了SrBi<,4>Ti<,4>O<,15>薄膜,分析了SrBi<,4>Ti<,4>O<,15>薄膜的XRD譜線,通過多種分析測(cè)試手段研究了熱處理工藝等對(duì)SrBi<,4>Ti<,4>O<,15>薄膜的晶化、微結(jié)構(gòu)、表面形貌等的影響規(guī)律.測(cè)試了SrBi<,4>Ti<,4
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