應(yīng)用微波光電導(dǎo)衰減法測量硅晶體少子壽命的研究.pdf

1、近年來，隨著光伏產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，人們在不斷探索光電轉(zhuǎn)換效率更高、使用壽命更長的太陽能電池。少數(shù)載流子壽命（簡稱少子壽命）是半導(dǎo)體材料的一個(gè)重要參數(shù)，通過對少子壽命的檢測可以反映出半導(dǎo)體器件性能和太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率。因此對少子壽命檢測儀器的開發(fā)，將推動(dòng)光伏產(chǎn)業(yè)更快更好的發(fā)展。但國內(nèi)對少子壽命測量的研究起步比較晚，測量方法比較落后，而且測量精度也很難保證。國外雖然有比較成熟的儀器，但價(jià)格都非常昂貴。為此，在查閱相關(guān)資料，了解國內(nèi)外少子壽命

2、測量，尤其是微波反射光電導(dǎo)衰減法測量的現(xiàn)狀和發(fā)展的基礎(chǔ)上，確定了課題的研究方向。
　　 本文論述了基于微波反射光電導(dǎo)衰減法的少子壽命測量系統(tǒng)的研究，給出了總體設(shè)計(jì)方案，并對微波反射光電導(dǎo)衰減法的測量原理、測量系統(tǒng)的硬件組成、微弱信號(hào)處理、噪聲抑制和抗干擾措施、數(shù)據(jù)處理等分別作了介紹。其中，硬件系統(tǒng)主要包括微波檢測系統(tǒng)、激光激勵(lì)系統(tǒng)、信號(hào)調(diào)理系統(tǒng)，文中對各個(gè)系統(tǒng)的器件做了具體介紹。另外，在微弱信號(hào)處理方面給出了幾種與本課題相關(guān)的檢