2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題(含答案詳解+作文范文)_第1頁
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1、非等向性濕式蝕刻是微機電體型微加工技術的重要制程,攪拌方式是影響非等向性濕式蝕刻的主要參數(shù)之一,影響的范圍包括蝕刻速率及蝕刻面的表面粗糙度等。一般非等向性濕式蝕刻是使用磁石攪拌方式,但對于大片晶圓的蝕刻,深度蝕刻或是當保護另一面免于蝕刻的裝置存在時,磁石攪拌常常造成蝕刻深度與粗糙度的不均勻。本研究則利用超音波振蕩以及添加界面活性劑的方式來代替,并針對KOH蝕刻液進行一系列的實驗。 首先,論文比較了無攪拌、磁石攪拌和超音波振蕩三種

2、方式下蝕刻的不同,發(fā)現(xiàn)以超音波攪拌方式所制作出來的蝕刻表面,相當?shù)募氈虑揖鶆?。在超音波輸出功率?0w時,所蝕刻出來的表面粗糙度(Ra)可達45A,可說是已達到光學鏡面的質量。 其次,研究發(fā)現(xiàn)超音波振蕩雖然可以大幅度的改善表面粗糙度,但是對于所要制作的微結構可能會產(chǎn)生損害,尤其是用于微傳感器的薄膜微結構(membranemicrostructure)相當脆弱,其厚度只有幾千個A。如果超音波振蕩過大,其強大的機械力會使薄膜微結構產(chǎn)

3、生斷裂,造成無法彌補的損害。有藉于此,本研究使用添加界面活性劑的方法,以物理的方式來取代一般的攪拌及超音波振蕩; 最后,論文研究了陰離子型界面活性劑:MA;陽離子型界面活性劑:DC;以及非離子型界面活性劑:BR三種界面活性劑對改善蝕刻表面的影響。結果表明,活性劑將原本具斥水性的硅基材轉換成了親水性,這個轉變在蝕刻機制中有個極大的優(yōu)點,就是蝕刻物表面經(jīng)改質之后大為親水(濕潤),使蝕刻反應所生成的氫氣泡不易附著在表面,也就是說氫氣泡

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