LD反饋干涉理論及其在表面輪廓測(cè)量中的應(yīng)用研究.pdf

1、本文首先對(duì)一般激光反饋干涉理論進(jìn)行了理論分析和仿真計(jì)算，在搭建的LD反饋干涉實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)上進(jìn)行了強(qiáng)/弱反饋干涉實(shí)驗(yàn)，得出相應(yīng)的干涉圖形和光電輸出信號(hào)。同時(shí)，作為論文的創(chuàng)新點(diǎn)之一，對(duì)多外腔反饋干涉系統(tǒng)提出了自己的理論模型，并在后面的實(shí)驗(yàn)中利用這一結(jié)果，得到了間接的驗(yàn)證。 然后，在分析了近年來(lái)出現(xiàn)的激光二極管反饋干涉條紋鎖定現(xiàn)象的基礎(chǔ)上，對(duì)激光二極管光反饋干涉儀的工作機(jī)理做了較為深入的理論分析和實(shí)驗(yàn)研究，提出了激光反饋干涉系統(tǒng)四鏡F-P

2、等效腔的理論模型。進(jìn)行了理論分析和數(shù)學(xué)推導(dǎo)，得到了激光二極管反饋干涉系統(tǒng)的激發(fā)條件和條紋鎖定機(jī)理，形成了另一個(gè)創(chuàng)新點(diǎn)。通過(guò)仿真計(jì)算、得出激光波長(zhǎng)變化和光程差變化的關(guān)系，在泰曼—格林干涉儀進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)，觀察了激光二極管光反饋的條紋鎖定現(xiàn)象，對(duì)提出的理論進(jìn)行了驗(yàn)證分析。 最后，簡(jiǎn)要介紹了表面輪廓測(cè)量參數(shù)和光學(xué)檢測(cè)方法，重點(diǎn)介紹了激光干涉測(cè)量方法在激光反饋干涉實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)中進(jìn)行了精細(xì)表面物體的表面輪廓測(cè)量實(shí)驗(yàn)以及抗干擾基本實(shí)驗(yàn)，這也是論文另