單晶爐晶體提拉系統(tǒng)平衡研究.pdf

1、提拉法單晶爐是晶體生長設備中最重要的產(chǎn)品系列之一,用此方法單晶生長速度最高,晶體尺寸最大,晶體質(zhì)量最好,最易實現(xiàn)自動控制,因此獲得了最廣泛的應用。而此方法生產(chǎn)高質(zhì)量單晶的主要因素取決于單晶提拉過程的平穩(wěn)性,因此提拉系統(tǒng)良好的平穩(wěn)性是提高單晶爐設備性能和生產(chǎn)效率的關鍵。以良好的平穩(wěn)性為目標,本文對單晶爐提拉系統(tǒng)進行了系統(tǒng)平衡方面的研究。本文首先介紹了單晶爐提拉系統(tǒng)的功能、結構特點以及工作原理；討論了單晶爐提拉系統(tǒng)靜平衡與動平衡的原理和方法

2、,分析、研究了提拉系統(tǒng)完全平衡的條件,以及提拉系統(tǒng)不平衡校正的方法。結合單晶爐提拉系統(tǒng)實際結構,進行了系統(tǒng)UG三維實體建模、動平衡數(shù)學建模、計算以及提拉系統(tǒng)動平衡仿真配平工作。系統(tǒng)動平衡分析、計算的結果證明,提拉系統(tǒng)配平效果即動平衡效果是比較好的。隨后,針對某型號單晶爐提拉系統(tǒng)的實際結構,進行了提拉系統(tǒng)理論靜不平衡量的大小、相位計算,三維軟件UG建模計算和該設備“以動測靜”法的平衡實驗；完成了相關理論與實驗數(shù)據(jù)的對比分析,根據(jù)分析結果,