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文檔簡介
1、利用直拉單晶法生產(chǎn)高質(zhì)量單晶的主要因素取決單晶提拉過程的平穩(wěn)性,因此良好的提拉系統(tǒng)是提高單晶爐設(shè)備性能和生產(chǎn)效率的關(guān)鍵。本文針對TDR型單晶爐提拉系統(tǒng)在運(yùn)行當(dāng)中出現(xiàn)的擺動現(xiàn)象以及擺動量檢測技術(shù)進(jìn)行了深入的研究,主要研究工作如下： 建立了針對TDR型單晶爐提拉系統(tǒng)在離心激勵和振動激勵下定常擺的動力學(xué)模型,進(jìn)行了詳細(xì)的計(jì)算機(jī)仿真分析,通過分析發(fā)現(xiàn)將單晶爐提拉系統(tǒng)建立成振動激勵下的單擺模型,再經(jīng)過雙擺對其修正,基本符合實(shí)際運(yùn)動中的擺動
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