基于機(jī)器視覺(jué)的單晶爐提拉裝置擺動(dòng)量檢測(cè)方法研究.pdf

1、軟軸型單晶爐在生長(zhǎng)單晶的過(guò)程中，如果提拉裝置的擺動(dòng)量過(guò)大，將嚴(yán)重影響單晶的生長(zhǎng)質(zhì)量，為了避免單晶爐設(shè)備擺動(dòng)量過(guò)大的問(wèn)題，在裝配過(guò)程中應(yīng)對(duì)提拉裝置進(jìn)行檢測(cè)，以控制擺動(dòng)量的大小，提高裝備的質(zhì)量。
　　 本文對(duì)單晶爐提拉裝置擺動(dòng)量的檢測(cè)進(jìn)行了研究，提出了基于機(jī)器視覺(jué)的擺動(dòng)量檢測(cè)方案。采用了引入徑向畸變和切向畸變的基于OpenCV的攝像機(jī)標(biāo)定方法，保證視覺(jué)檢測(cè)的精確度。利用相鄰兩幀圖像差分法，HOS分割及形態(tài)學(xué)處理等算法得到物體的運(yùn)動(dòng)變

2、化區(qū)域；運(yùn)用中值濾波，直方圖均衡化，灰度線性拉伸等算法增強(qiáng)運(yùn)動(dòng)物體與背景的對(duì)比度，進(jìn)行了邊緣檢測(cè)；并對(duì)運(yùn)動(dòng)變化區(qū)域和邊緣圖進(jìn)行“與運(yùn)算”處理，采用“貼標(biāo)簽”算法，消除圖像中的噪聲，得到精確的運(yùn)動(dòng)物體的邊緣，采用最小二乘法擬合形心，完成對(duì)運(yùn)動(dòng)物體的精確定位。提取全部運(yùn)動(dòng)序列圖像中運(yùn)動(dòng)物體的形心，得到一個(gè)形心點(diǎn)集，求其最小包容圓，則在世界坐標(biāo)系中最小包容圓圓心到擺錘實(shí)際擺動(dòng)中心的距離與最小包容圓的半徑之和，就是所求的最大擺動(dòng)量。