基于提拉軸運動軌跡估計的單晶爐對中檢測系統(tǒng).pdf

1、近年來,半導(dǎo)體晶體直徑朝著大型化的方向發(fā)展,晶體的直徑逐漸從6英寸發(fā)展到12英寸。晶體直徑的大型化發(fā)展成為當前的主流趨勢。生長出質(zhì)量好、尺寸大的單晶硅需要非常穩(wěn)定的運動和對稱的熱場,所以,CZ生長法中單晶爐提拉頭、軟軸、坩堝軸三者的旋轉(zhuǎn)中心重合與否對晶體的品質(zhì)有著至關(guān)重要的作用。因此,研究單晶爐的對中檢測問題具有十分重要的意義。
　　通過對目前現(xiàn)有的單晶爐對中檢測方法仔細研究后,本文以前人的對中檢測方法為基礎(chǔ)進行深入研究,重新優(yōu)化

2、設(shè)計了硬件,并且在單晶爐內(nèi)完成了對提拉軸運動軌跡估計的測試。方案中首先提取出激光的運動軌跡,然后采用了二級重心法進行定位,即分別采用重心法定位激光光斑的中心位置和運動軌跡的中心位置。針對對中系統(tǒng)實時檢測這一要求,搭建了一套高速嵌入式圖像采集與處理平臺,以點激光和面陣圖像傳感器作為檢測元件,完成圖像的實時采集、傳輸、處理和終端顯示。為了驗證上述算法的可行性,需要獲得連續(xù)的圖像數(shù)據(jù)。因此,搭建了實驗裝置進行現(xiàn)場測試。
　　在測試中,嘗