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文檔簡介
1、本研究工作采用江蘇科技大學(xué)分析測試中心的INCA-Crystal背散射電子衍射分析系統(tǒng)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)研究，該分析系統(tǒng)由JEOL JSM-6480掃描電子顯微鏡和OXFORD INCA-Crystal所組成。 本論文通過大量的實(shí)驗(yàn)研究，探索出采用機(jī)械-化學(xué)綜合拋光制備EBSD試樣的方法：選擇三氧化二鋁（粒徑為30nm）拋光乳液對所制備的EBSD樣品進(jìn)行長時(shí)間的拋光，不同的樣品中間需要用相應(yīng)的侵蝕劑對樣品進(jìn)行侵蝕，但侵蝕的次數(shù)不能過多，一
2、般情況下，每拋光2個(gè)小時(shí)侵蝕一次。隨著拋光時(shí)間的增長和拋光乳液中粒子的粒徑的減小，拋光得到的樣品衍射花樣越好。對電解拋光法制備EBSD樣品方面也做了一些探索，并闡述了電解拋光過程中的相關(guān)注意事項(xiàng)。一般金屬材料的EBSD試樣可采用機(jī)械-化學(xué)綜合拋光法制備，而易變形的金屬材料可以選擇電解拋光去除形變層。 本論文還驗(yàn)證了INCA-Crystal背散射電子衍射儀的工作參數(shù)：加速電壓20-30kv，工作距離10.0~20.0mm，真空度高
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