半導(dǎo)體器件CETRM在線測量評價法及失效分析.pdf

1、隨著科學(xué)技術(shù)和工藝水平的不斷發(fā)展，半導(dǎo)體器件的可靠性和壽命不斷提高。如何在較短時間內(nèi)，對這些高可靠水平的器件進行評價，及時的提供相關(guān)的可靠性信息，就成為一個急需解決的問題。 電子元器件往往要在宇宙空間中運行的衛(wèi)星、火箭等高溫、高輻射的極端條件下使用，條件非常惡劣，超出了正常使用溫度范圍。并且，隨著技術(shù)的進步，對電子器件所要求的可靠壽命也越來越長。這就使得研究器件高溫特性和高溫下的退化特性，從而保證器件在各種溫度條件下正常工作具有

2、重要意義。 針對恒定電應(yīng)力溫度斜坡法(可靠性試驗中的線下法測量時時間相對較長的問題，提出CETRM在線測量的方法。在線法可以更精確的反映樣品參數(shù)的動態(tài)退化，從而更快的得到試驗結(jié)果。并利用器件失效敏感參數(shù)的溫度特性和在序進應(yīng)力下的退化特性，建立了相應(yīng)的試驗方案和數(shù)據(jù)處理方法。對試驗所用的HP-VEE控制系統(tǒng)進行了詳盡的介紹。通過線上試驗得到了器件的高溫特性和高溫下的退化特性。試驗數(shù)據(jù)證明了線上法的可行性。 通過對失效分析重