納米MOS器件中的量子效應(yīng)分析及其模擬.pdf_第1頁(yè)
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1、本課題描述了納米體MOS器件中的量子隧穿效應(yīng)和能量量子化效應(yīng)的物理機(jī)制,用自洽求解薛定諤.泊松方程組的方法模擬了直接隧穿導(dǎo)致的柵隧穿漏電流和能級(jí)量子化導(dǎo)致的柵電容退化。 采用基于自洽求解薛定諤-泊松方程組的量子修正方法,研究分布于量子化離散子能級(jí)上的載流子反型層電荷密度分布和柵極電壓之間的關(guān)系。建立考慮了能量量子化對(duì)載流子分布影響的C-V特性的量子修正模型,并模擬預(yù)測(cè)了納米MOS器件的C-v特性,模擬表明納米MOS器件的柵電容顯

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